張保國 教授
| 專家姓名: | 張保國 | 職務(wù): | ||
| 職稱: | 教授 | 專業(yè)類別: | ||
| 研究方向： | ||||
1. 大規(guī)模集成電路20-14nm技術(shù)節(jié)點的化學(xué)機械平坦化新工藝的研究 2. 化合物半導(dǎo)體材料表面拋光及清洗加工技術(shù)的研究 3. 倒裝LED芯片工藝中關(guān)鍵技術(shù)的研究 4. 柔性高效太陽能電池新工藝的研究 |
||||
| 自我介紹： | ||||
教授，博士生導(dǎo)師。2000年，美國內(nèi)華達(dá)大學(xué)里諾分校獲工學(xué)博士學(xué)位；2000-2011年，在美國AXT，Wafer World，SVTC, Alta Devices等半導(dǎo)體高科技公司工作，研究方向：半導(dǎo)體材料（Si, Ge，GaAs, InP等）化學(xué)機械拋光和表面清洗，以及集成電路化學(xué)機械平坦化工藝（Cu, Ta, W, SiO2等）, 擔(dān)任高級工程師。2011-2013年，在江蘇省創(chuàng)辦無錫納克斯半導(dǎo)體材料公司，擔(dān)任總經(jīng)理，兼任技術(shù)總監(jiān)。2013年，加入河北工業(yè)大學(xué)電子與信息工程學(xué)院，任特聘教授。江蘇省雙創(chuàng)人才，河北省百人計劃人才，燕趙友誼獎獲得者。 學(xué)術(shù)成果：微電子技術(shù)與材料方向負(fù)責(zé)人，國際ICPT程序委員會委員、中國半導(dǎo)體協(xié)會平坦化技術(shù)聯(lián)盟執(zhí)行委員、中國顆粒學(xué)會顆粒制備與處理專業(yè)委員會委員，承擔(dān)河北省科技支撐項目一項。共發(fā)表包括《Applied Surface Science》、《ECS Solid State Science and Technology》、《人工晶體學(xué)報》等學(xué)術(shù)論文二十余篇。已發(fā)布及獲得知識產(chǎn)權(quán)專利四項。 |
||||
| 所在單位: | 河北工業(yè)大學(xué) | |||
 |
||||
