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IoN 100 WB是我們**推出的具有高性價比的真空等離子清洗設(shè)備。它來源于IoN 100系列，IoN 100 WB延續(xù)了同樣的高品質(zhì)保障，包括可選壓力控制器、光譜終點檢測器以及各種不同的電極組構(gòu)造。

IoN 100 WB旨在滿足客戶大批量生產(chǎn)的需求，著重于表面處理的多功能性和可控性。其先進(jìn)的性能提供了出色的工藝控制、失效報警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。這使得該設(shè)備可滿足半導(dǎo)體、生命科學(xué)等領(lǐng)域嚴(yán)格的控制要求。IoN 100 WB結(jié)構(gòu)緊湊，集成度高，采用射頻（RF）頻率激發(fā)等離子體。 

IoN 100 WB的另一個獨特之處是可以迅速快捷的更換不同類型的電極結(jié)構(gòu)。

先進(jìn)的功能特性：
●  觸摸屏操作，圖形用戶界面（GUI）

●  可配置的腔室可使用不同類型電極，適用于大批量處理或特殊的垂直懸掛處理

●  使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計算機(jī)控制

●  工藝員、操作元、維護(hù)員訪問權(quán)限控制

●  自診斷功能和警報記錄功能，聯(lián)網(wǎng)在線診斷功能

●  以太網(wǎng)遠(yuǎn)程控制功能

●  工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

●  安裝簡單快捷

規(guī)格參數(shù) 
工作腔室材料                                鋁（標(biāo)配）
容積                                             107 升
內(nèi)部尺寸                                      375 x 375 x 762 mm（寬/高/深）
　　　　　　　   

工藝氣體 
質(zhì)量流量控制計                             *多至6路氣體
工藝壓力                                      200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
抽真空時間                                   大約1分鐘 (取決于真空泵)

射頻電源                                      風(fēng)冷13.56MHz,600 瓦(標(biāo)準(zhǔn)配置)
供給需求電源　　　　　                 220V 單相, 50Hz
工藝氣體                                     輸入壓力 1-2 bar
吹掃氣體                                     輸入壓力 1-2 bar
壓縮空氣                                     輸入壓力 4-6 bar

機(jī)體

●  獨立的機(jī)體帶有所有電源和氣體接口
●  帶有旋轉(zhuǎn)墊腳的可轉(zhuǎn)動機(jī)身

設(shè)備尺寸
標(biāo)準(zhǔn)尺寸                                       1067 x 737 x 1245 mm（寬/高/深，不含泵）
重量                                              約239千克（不含泵）

可選項
● 不銹鋼腔體

● 壓力控制器
● 1%精度的真空規(guī)
● 指示燈柱
● 條形碼閱讀器
● 工藝氣體切換器
● 光譜終點檢測器

● 耐腐蝕性氣體的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器
● 水冷機(jī)
● 液態(tài)單體操作裝置
● 真空泵（油泵、干泵或羅茨泵組）
● 汽相MFC