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性能特點(diǎn) Performance
1.為解決鍍膜濺射爬堝問(wèn)題及鎳、銅腐蝕問(wèn)題而獨(dú)立開發(fā)的新型配方產(chǎn)品。
2.采用先進(jìn)的配方工藝，優(yōu)化組分，化學(xué)穩(wěn)定性好，電阻率穩(wěn)定。
3.抗氧化性能好，抗金屬鋁，鎳，銅金等腐蝕。
4.**使用溫度1800度。
1. Independently developed new formula products in order to solve the problems of sputtering pot and nickel and copper corrosion.
2. Adopt advanced formulation technology, optimize components, have good chemical stability and stable resistivity.
3. Good oxidation resistance, resistant to aluminum, nickel, copper and gold corrosion.
4. The maximum using temperature is 1800 ℃.
?上一個(gè)： 半導(dǎo)體設(shè)備氮化硼絕緣配件 BN Insulation Parts for Semiconductor Equipment
性能指標(biāo) Performance Indexes
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