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| 量產(chǎn)型半自動(dòng)/全自動(dòng)探針臺(tái) | ||||
| 型號(hào) | SA-6/SA-8/SA-12 | 外形 | 1500（長(zhǎng)）*1700（寬）*1100(高) | |
| 重量 | 1700kg | 電力需求/功率 | 220VAC±10V/50Hz/2.2KW | |
| 規(guī)格參數(shù) | 能夠測(cè)試的晶圓直徑 | 6,”8”,12” | ||
| 晶圓厚度 | 300≤T≤1000um（標(biāo)準(zhǔn)） 300≧T(薄片機(jī)型） | |||
| 晶圓厚度偏差 | 50um | |||
| Index time | 300ms(標(biāo)準(zhǔn)速度， die尺寸 10mm , 包括Z上下0.3mm移動(dòng)的時(shí)間) | |||
| Chuck 具備5軸移動(dòng)機(jī)構(gòu) | （X/Y/Z/theta/F） | |||
| X-Y軸行程 | 380mm, **速度300mm/s, 分辨率0.1um | |||
| XY全行程機(jī)械定位精度 | ±2um（環(huán)境溫度在±1°以內(nèi)波動(dòng)時(shí)） | |||
| XY**速度 | 300mm/s | |||
| Chuck平面度 | ≤5 um | |||
| Z軸行程 | 37mm，探針?lè)蛛x高度0.3mm,速度30毫秒/0.3mm | |||
| Z軸移動(dòng)解析度 | 0.1um | |||
| Z軸定位精度 | ±2um | |||
| Theta 軸 | ±5°/0.0001° | |||
| 光柵尺 | 0.1um光柵尺 | |||
| 預(yù)對(duì)位平臺(tái) | 光學(xué)原理檢測(cè)， 平邊或者notch ±1°定位精度 | |||
| 晶圓機(jī)械手 | 陶瓷機(jī)械手，cassette *1 | |||
| 晶圓裝載單元 | 一個(gè)升降單元，預(yù)對(duì)位單元，晶圓傳輸子單元以及他們的接口 | |||
| 自動(dòng)對(duì)位系統(tǒng) | 自動(dòng)水平掃描、自動(dòng)**測(cè)試點(diǎn)定位、自動(dòng)測(cè)試中心定位 | |||
| 自動(dòng)上下片系統(tǒng) | 料盒安全保護(hù)、晶圓定位邊預(yù)對(duì)準(zhǔn) | |||
| 精確對(duì)位單元 | pattern matching | |||
| 位移傳感器 | 采用靜電容傳感器 ， 分辨率 2um （option) | |||
| 照明 | 同軸鹵素?zé)粽彰骰?/span>LED光源 | |||
| 視場(chǎng) | 低倍情況：4.9*3.6mm 中倍情況：1*0.72mm 高倍情況：0.49*0.36mm | |||
| PC配置 | I5CPU，4G內(nèi)存，128G固態(tài)硬盤等 | |||
| LCD 顯示器 | 對(duì)位顯示為黑白，其他顯示為彩色，中文 | |||
| 鍵盤 | 單元大小 15*15mm, 46 字母數(shù)字 | |||
| 報(bào)警器(三色燈) | 紅，黃，綠 | |||
| 操作場(chǎng)地要求 | 2200mmX2200mm | |||
| 操作界面 | Windows中文操作界面，中文MAPING動(dòng)態(tài)顯示 | |||
| 標(biāo)記 | 上下標(biāo)記 ，標(biāo)記可以實(shí)時(shí)或者離線標(biāo)記，標(biāo)記耗時(shí)15~300ms，采用ink或者Laser | |||
| 可以采用的cassette形式 | FOUP 12/8/6”(13或者25片)；light FOUP 12/8/6”(13或者25片)，12/8/6” open cassette | |||
| 可選附件 | 自動(dòng)磨針臺(tái) | 可以兼容高頻測(cè)試頭 | 晶圓ID 識(shí)別功能 | |
| 可以匹配自動(dòng)晶圓盒取放設(shè)備（AGV or OHT） | 直接和晶圓傳輸控制電腦或者服務(wù)器通訊 | |||
| FOUP(front open unified Pod)有別于普通open cassette , 帶有潔凈氣體單元（mini environment），可以在晶圓傳輸過(guò)程保持潔凈在Class100潔凈室里面，探針臺(tái)內(nèi)部可以達(dá)到Class 1“主體包括：控制盒，TTL，RS232，GBIP測(cè)試機(jī)接口 | ||||
| 特點(diǎn) | ||||
| 超高的測(cè)試精度和超快測(cè)試速度 | 自動(dòng)alignment/找晶圓中心/測(cè)量diesize | |||
| 支持單點(diǎn)測(cè)試和連續(xù)測(cè)試 | 功能豐富的測(cè)試軟件 | |||
| 便捷的儀器接入 | 可升級(jí)自動(dòng)wafer厚度測(cè)量和ID讀卡 | |||
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