Atto10手套箱是經(jīng)過驗(yàn)證的一種手套箱蒸鍍一體機(jī)，堅(jiān)固耐用的多功能設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)方案。該系統(tǒng)可以手動(dòng)和自動(dòng)操作，具有廣泛的沉積儀器選配，包括：電子束蒸發(fā)器，射頻和直流濺射源，低溫有機(jī)蒸發(fā)器和金屬蒸發(fā)器。還有許多系統(tǒng)選項(xiàng)可用，如 石英晶體監(jiān)測(cè)，高真空負(fù)載鎖和加熱，冷卻，旋轉(zhuǎn)或靜態(tài)樣品臺(tái)。本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和Lab2000手套箱系統(tǒng)集成而成，手套箱是一種與大氣隔絕的密閉環(huán)境的箱體，各種裝配操作等工作能夠通過手套在箱體里面進(jìn)行，手套箱內(nèi)部無水、無氧，只充滿了高純惰性氣體，實(shí)現(xiàn)鍍膜機(jī)和手套箱的無縫連接，解決鍍膜產(chǎn)品被水氧分子污染的問題。