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真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-2L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號(hào)（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中頻電源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

層數(shù)（Electrode of plies ）

2(Option)

腔體規(guī)格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選：Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品概述

設(shè)備參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，精準(zhǔn)的控制設(shè)備運(yùn)行；

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求；保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制；

高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍

真空等離子清洗機(jī)適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車(chē)電子行業(yè),航空工業(yè)等。印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污、軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補(bǔ)強(qiáng)前活化。半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗；硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

等離子體為何在當(dāng)代這么受歡迎呢

21世紀(jì)以來(lái)，隨著科學(xué)技術(shù)和現(xiàn)代工業(yè)的快速發(fā)展，為滿足各行業(yè)發(fā)展需求，各種功能的新材料層出不窮。與此同時(shí)，這也促使了各種表面改性技術(shù)的發(fā)展與進(jìn)步。

等離子體表面改性是指將材料暴露在非聚合氣等離子體中，通過(guò)等離子體轟擊材料表面，使材料表面結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，從而實(shí)現(xiàn)活化改性。一般而言，功能層的表面改性非常薄(幾納米至數(shù)百納米)，不會(huì)影響材料的整體性能；經(jīng)過(guò)改性后，材料表面可具有親水性、抗磨性、裝飾性、著色性、印花性、粘接性、抗靜電性等功能。

現(xiàn)等離子體技術(shù)用于纖維表面的改性也受到廣泛的注意。等離子體處理碳纖維表面即能改善粘接性，又能保證纖維拉伸強(qiáng)度不下降。此外，等離子體處理還能消除碳纖維的表面微裂紋，減少應(yīng)力集中，提高纖維本身的拉伸強(qiáng)度。等離子體處理Kevlar纖維、芳綸纖維同樣效果顯著。PET纖維應(yīng)用廣泛，但染色性、吸濕性、抗污性能差，經(jīng)等離子體處理后，表面引入極性基團(tuán)，產(chǎn)生自由基、交聯(lián)層，有效改善各種性能。

電子元器件、汽車(chē)零部件等工業(yè)元件在生產(chǎn)過(guò)程中由于交叉污染、自然氧化、焊劑等，表面會(huì)形成各種污物，這些污染物會(huì)影響元件在后續(xù)生產(chǎn)中的焊接、粘接等相關(guān)工藝質(zhì)量，降低成品可靠性和合格率。等離子體處理通過(guò)化學(xué)或物理作用對(duì)工件表面進(jìn)行處理，反應(yīng)氣體電離產(chǎn)生高活性反應(yīng)離子，與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行清潔。需要根據(jù)污染物的化學(xué)成分對(duì)反應(yīng)氣體進(jìn)行選擇。以化學(xué)反應(yīng)為主的等離子體清洗速度快，選擇性好，對(duì)有機(jī)污染物清洗效果較好。表面反應(yīng)以物理作用為主的等離子體清洗很常用的是采用氬氣，不會(huì)產(chǎn)生氧化副產(chǎn)物，刻蝕作用各向異性。一般情況下等離子體表面改性過(guò)程中，化學(xué)反應(yīng)和物理作用是共同存在的，從而得到較好的選擇性、均勻性和方向性。

由于工業(yè)領(lǐng)域精密化、微小化的發(fā)展方向，等離子體表面改性技術(shù)以其精細(xì)清潔、無(wú)損改性的優(yōu)勢(shì)在半導(dǎo)體行業(yè)、芯片產(chǎn)業(yè)、航空航天等高新技術(shù)行業(yè)也會(huì)有越來(lái)越重要的應(yīng)用價(jià)值。