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專為超大納米平板顯示器測(cè)量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)品牌
Park產(chǎn)地
韓國(guó)樣本
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隨著對(duì)大型平板顯示器原子力顯微鏡計(jì)量需求的增加，Park NX-TSH 通過(guò)利用探針掃描器和龍門式氣浮臺(tái)的結(jié)合，克服了針對(duì)大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測(cè)量，臺(tái)階高度測(cè)量和關(guān)鍵尺寸測(cè)量。
為OLED面板行業(yè)整片測(cè)量，超高尺寸鏡片測(cè)量，提供全自動(dòng)的原子力顯微鏡計(jì)量解決方案。
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