雙電測四探針測試儀

采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測量，能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實(shí)現(xiàn)的。

RTS-9軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型雙電測四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

RTS-9型雙電測四探針測試儀技術(shù)指標(biāo) ：

測量范圍電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴(kuò)展)；   
方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：10^-5～10⁵s/cm；
電阻：10^-5～10⁵ Ω；

可測晶片厚度≤3mm

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺(tái))；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺(tái))；
400mmX500mm(配S-2C型測試臺(tái))；

恒流源電 流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表  量程及表示形式：000.00～199.99mV；    
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)  間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)  (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測量大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度  ≤4%

測試標(biāo)準(zhǔn)采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn)，通過RTS-9雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-8四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時(shí)使用。

軟件功能軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測試。

計(jì)算機(jī)通訊接口并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強(qiáng)光直射；