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產品功能:
◆設備烘干，然結一體化結構緊湊合理，符合半導體制造標準。
◆穩(wěn)定可靠的工藝溫度控制系統(tǒng)（采用英國WEST溫度控制器）。
◆采用美國進口加熱燈管加熱。
◆采用先進的文氏排氣系統(tǒng)，從而保證了有害氣體的不泄露。
◆設備控制采用工業(yè)控制機統(tǒng)一控制。
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