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40-50萬元型號(hào)
SemiChem APM品牌
產(chǎn)地
美國樣本
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SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀
Entegris在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)用于半導(dǎo)體制造工藝中 的化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）漿料和配方清潔化學(xué)品的高精度分析儀器的有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的技術(shù)旨在確保復(fù)雜混合化學(xué)品的精確一致性，并在 CMP和配方清潔工藝中實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。
我們的 SemiChem Advanced Process Monitor （SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀）是集自動(dòng)取樣、分析和報(bào)告關(guān)鍵過程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監(jiān)測系統(tǒng)。全面的在線化學(xué)監(jiān)測可實(shí)時(shí)校正漿料成分，從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統(tǒng)可提供分類化學(xué)濃度數(shù)據(jù)。當(dāng)立即顯現(xiàn)時(shí)，可以快速糾正可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響的變化，有助于滿足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
在全球范圍內(nèi)，我們安裝了近3000套SemiChem APM系統(tǒng)，用于控制金屬 CMP 濃度。它是控制CMP過氧化物的可靠的中心工具，并被證明在微電子環(huán)境中的所有濕化學(xué)應(yīng)用中都具有較好的性能，包括：
·銅，鎢，阻擋層和金屬CMP
·制定清潔
·DSP+
·濕法蝕刻，氮化物蝕刻
·平底蝕刻，食人魚蝕刻
·高頻
·廢水
功能與特點(diǎn)
| 經(jīng)驗(yàn)證的標(biāo)準(zhǔn)電化學(xué)技術(shù) | 提供行業(yè)精確的監(jiān)控，以保證過程化學(xué)成分和完整性 |
| 提供化學(xué)濃度數(shù)據(jù)，使?jié){料/化學(xué)分配系統(tǒng)能夠提供準(zhǔn)確的化學(xué)濃度 | |
| 在線的，接近實(shí)時(shí)檢測的系統(tǒng) | 檢測揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)的工藝偏差，防止產(chǎn)品質(zhì)量損壞 |
| 將實(shí)驗(yàn)室技術(shù)過渡到在線，實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的在線控制 | |
| 堅(jiān)固耐用的工業(yè)設(shè)計(jì) | 維持至少8500小時(shí)平均工作時(shí)間 |
| 可經(jīng)受嚴(yán)峻的工業(yè)環(huán)境 |
規(guī)格
| 分析方法 | 電位測定法，標(biāo)準(zhǔn)加成法，光度測定法 |
| 電位測量的準(zhǔn)確性* | 顯示值的±0.2% |
| 標(biāo)準(zhǔn)添加的準(zhǔn)確性* | 顯示值的±2.0% |
| 電位測量精度* | ±0.2%相對(duì)誤差 |
| 標(biāo)準(zhǔn)添加精度* | ±2.0%相對(duì)誤差 |
| 測量時(shí)間 | >5分鐘/次（取決于應(yīng)用程序） |
| 校準(zhǔn)間隔 | 啟動(dòng)時(shí)** |
| 樣品消耗 | <5 mL/次 |
| 進(jìn)樣量 | 0.05-5 mL（取決于應(yīng)用） |
| 進(jìn)樣溫度 | **93°C（200°F） |
| 耗水量 | <1000 mL/分析 |
| 樣品進(jìn)樣/排樣 | <207 kPa（30 psi），0.5 L/min |
| 1/4" OD擴(kuò)口接頭，1" FPT安全殼聯(lián)軸器 | |
| 去離子水 | 138至276 kPa（20至40 psi） |
| 2.0升/分鐘 | |
| 外徑 1/4" 擴(kuò)口接頭 | |
| CDA | 414-552 kPa（60-80 psi） |
| 1/4" 外徑快速接頭 | |
| 排水 | 工藝：3/4“NPT重力排水管 機(jī)柜：1/2“NPT重力 |
| 電源 | 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A現(xiàn)場可切換 |
| 廢氣 | 外徑1 7/8" @ 17 CFM |
| 標(biāo)準(zhǔn)功能 | 可選功能 |
·四個(gè)4-20 mA模擬輸出 ·八個(gè)可編程繼電器 ·以太網(wǎng)和RS232串行 ·彩色觸摸屏 ·單個(gè)測量單元 ·綜合試劑儲(chǔ)存 ·單個(gè)采樣點(diǎn) ·一個(gè)5 mL數(shù)字滴定管 ·多傳感器輸入 | ·多個(gè)采樣點(diǎn) ·額外的5 mL數(shù)字滴定管 ·附加傳感器 ·安全聯(lián)鎖裝置 ·試劑微量檢測 |
尺寸
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隨著近年來氫電的發(fā)展，燃料電池憑借其高效、清潔的特性而在市場上備受關(guān)注。在燃料電池的制備過程中不可缺少的是高催化活性及高穩(wěn)定性的催化劑。常見的有以石墨為載體的載鉑催化劑——Pt/C催化劑，即鉑碳催化劑
2020-05-14
2020-07-07
2020-07-08
JP17動(dòng)態(tài)光散射法測量粒徑解讀摘要：JP17是日本2016年出版的第17改正版藥典，是指導(dǎo)日本醫(yī)藥行業(yè)生產(chǎn)與檢測的主要文件。其在補(bǔ)充章節(jié)1介紹了動(dòng)態(tài)光散射法的工作原理及其測量粒徑規(guī)范要求，主要包含粒
2022-07-19
PEMFC燃料電池用催化劑制備及粒度表征方案 用微流化器制備更小粒徑 不溶性微粒測試儀在過濾行業(yè)的應(yīng)用 USP729脂質(zhì)注射乳劑中球狀體大小分布 PSS?AN?724?Spiked?Emulsion 726?Stability?of?Bitmen?Emulsions 708蛋白聚集 Nicomp 380在線系列儀器在藥物納米顆粒應(yīng)用分析 PSS儀器用于咖啡伴侶的等電點(diǎn)測試分析 AN-170蛋白聚集 
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跨界全球 心芯相聯(lián)SEMICON China 2025將于3月26日至28日在上海新國際博覽中心盛大開展。奧法美嘉秉承“傳遞粒度真知，普及納米知識(shí)”的理念，專注于CMP中LPC和關(guān)鍵化學(xué)品（H2O2和
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