主成分含量（%）：
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-密度（kg/m3）：
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又稱晶圓載盤，用于半導(dǎo)體CVD機(jī)臺中承托wafer，在高溫制程中有廣泛應(yīng)用。
技術(shù)優(yōu)勢
*小加工厚度達(dá)到1mm.純度高，可回收再利用。
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