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采用微應(yīng)變片傳感器，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的重復(fù)性和精確的3D輪廓測(cè)量，即使配用長(zhǎng)測(cè)針時(shí)也不例外。傳感器技術(shù)提供亞微米級(jí)的重復(fù)性，并且消除了機(jī)械式測(cè)頭存在的各向異性問題。測(cè)頭采用成熟的ASIC電子元件，確保了在數(shù)百萬(wàn)次觸發(fā)中的可靠操作。TP200系統(tǒng)組件包括：
• TP200測(cè)針模塊 — 選擇固定超程測(cè)力：SF（標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力）或LF（低測(cè)力）
• PI 200測(cè)頭接口
• SCR200測(cè)針交換架
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