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光學平臺STACIS主動隔振系統(tǒng)
光學平臺STACIS主動隔振系統(tǒng)

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森泉光電有限公司

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STACIS主動隔振系統(tǒng)

特點&優(yōu)點

1、從0.6Hz開始隔離振動,1Hz時可隔振40%到70%

2、2Hz時在高度、水平和垂直三個方向上提供超過90%的振動隔離

3、減少工廠地板鋪設(shè)成本,使設(shè)備能夠安裝在較強振動環(huán)境中

4、主動帶寬:0.6Hz到150Hz

5、設(shè)備制造商竭力推薦

6、六自由度活動硬性底座設(shè)計,無氣浮支撐

7、魯棒控制系統(tǒng),不需要預先調(diào)適

8、可與設(shè)備內(nèi)置隔振系統(tǒng)兼容

9、當環(huán)境振動水平隨時間增加時,確保設(shè)備滿足自身的振動標準

10、利用TMC Stacis®技術(shù)通過壓電陶瓷致動器來消除振動

11、帶有基于計算機的圖形用戶界面(GUI)的數(shù)字控制器

12、在舊的、有噪音的地板上也可以安裝使用

13、兼容各種地板的高度和類型

14、TMC關(guān)注Stacis III隔振性能,提供全面的售后服務(wù)

15、通過ROHS認證

STACIS®III是先進的主動振動隔離系統(tǒng)。采用先進的慣性振動傳感器、復雜的控制算法和先進的壓電致動器,STACIS通過連續(xù)測量地板活動,擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時振動隔離。

*初被設(shè)計用于先進半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設(shè)備振動隔離, STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標準解決方案,它廣泛應(yīng)用于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。

Stacis III包括一個新型改進的數(shù)字控制器—DC-2020。它搭載新的高效的雙核處理器,前后面板上都配備以太網(wǎng)和USB串口,新型先進控制系統(tǒng)為用戶提供了一個現(xiàn)代的、易于使用的圖形用戶界面(GUI)。

Stacis III在世界各地有數(shù)百個成功安裝案例,對于大部分振動敏感儀器來說都是*理想的振動消除系統(tǒng)。

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10分

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