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Film Sense FS-1™多波長橢偏儀

型號：Film Sense FS-1™

Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)快速和可 靠地薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就 可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。

Film Sense FS-1™多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)快速和可 靠地薄膜測量。

大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就 可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學(xué)常 數(shù)和其他薄膜特性。

Film Sense FS-1™多波長橢偏儀 這款功能強(qiáng)大的多波長橢偏儀，售價只是單一波長橢偏儀

和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1 可應(yīng)用于研究實驗室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域

主要特點(diǎn)

n 4 個 LED 光源：藍(lán)色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm）

n 橢偏儀探測器中無可移動部件

n **的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于 0.001nm（1 秒獲取數(shù)據(jù)），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

n 集成計算機(jī)，可實現(xiàn)對設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶 瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計算機(jī)，筆記本或平 板電腦

優(yōu)勢

n 壽命長（長達(dá) 50，000 小時），更換 LED 燈便宜，校準(zhǔn)時 間短或無需 PM 程序

n 快速測量（10ms 內(nèi)獲得多波長數(shù)據(jù)）和長期性能穩(wěn)定

n 測量精確，只有橢偏儀可以實現(xiàn)

n 軟件設(shè)置和維護(hù)簡單

標(biāo)準(zhǔn) FS-1 配置

n 65°入射角

n 手動放置樣品和調(diào)節(jié)高度

n 樣品尺寸zui大直徑 200mm 和厚度 23mm

n 樣品偏轉(zhuǎn)范圍+/-20

n 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm

n 結(jié)構(gòu)緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)

性能

FS-1 多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品，包括多 層膜樣品，FS-1 獲得的標(biāo)準(zhǔn)測量精密度和準(zhǔn)確性數(shù)據(jù)。

應(yīng)用領(lǐng)域

n 半導(dǎo)體行業(yè)：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電 材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠

n 光學(xué)薄膜行業(yè)：高和低指數(shù)薄膜，如 SiO2， TiO2， Ta2O5， MgF2 等

n 顯示屏行業(yè)：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機(jī)薄 膜（OLED 技術(shù)）

n 數(shù)據(jù)存儲行業(yè)：寶石，如碳膜

n 工藝研發(fā)：原位表征薄膜沉積（速率和光學(xué)常數(shù)） VS 工藝條件，可兼容 MBE， MOCVD， ALD 和磁控濺射 等設(shè)備

n 化學(xué)和生物：在液體細(xì)胞實驗中探測亞單原子層材 料吸附

n 工業(yè)：在線監(jiān)測和控制膜厚

In Situ 在線測量功能

n 亞單原子膜厚精密度

n 多工藝條件下測定薄膜光學(xué)常數(shù) n&k 和沉積速率，不 會破壞真空

n 監(jiān)測和控制多層膜結(jié)構(gòu)沉積

n FS-API 界面，外置軟件控制（兼容 LabVIEW™ ）

n 兼容大多數(shù)薄膜沉積技術(shù)：磁控濺射，ALD，MBE，MOCVD，電子束蒸發(fā)等

In Situ 在線測量

產(chǎn)品包括 FS-1™多波長橢偏儀，帶緊湊自動 mapping 樣品 臺，可以實現(xiàn)快速，準(zhǔn)確和可靠的薄膜均勻性測量。

特點(diǎn)和參數(shù)

n 4 段波長的橢偏數(shù)據(jù)（465， 525， 580， 635 nm），壽命長 的 LED 光源，探測器內(nèi)無可移動部件

n 可對 0-1000nm 透明薄膜進(jìn)行準(zhǔn)確的厚度測量

n 標(biāo)準(zhǔn)濃厚重復(fù)性 0.015 nm

n 集成聚焦探針，標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可選）

n 電動 Z 軸樣品臺自動準(zhǔn)直

n 靈活掃描圖案編輯器

n 測量參數(shù)等值線繪制

聚焦光束選件

樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm

聚焦光束檢測

聚焦光束檢測系統(tǒng)包括一個 FS-1 多波長橢偏儀，帶光束聚焦光學(xué)器件和一個手動位移臺。該系統(tǒng) 非常適合用于手動檢測和在圖案化半導(dǎo)體晶圓上 進(jìn)行質(zhì)量控制測量。

可進(jìn)行科研測量，帶小尺寸光斑和相機(jī)成像功能

手動位移臺，可容納 4’，5’，6’晶圓

樣品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm

樣品上光束位置視頻圖像

FS-XY150

n 標(biāo)準(zhǔn)晶圓 map 時間：60s（150mm 晶圓上取 49 個點(diǎn)）

n 結(jié)構(gòu)緊湊：600x600 mm， 16 kg

n 樣品臺行程（X，Y）：150 x 150 mm， 精度：5 μm

FS-RT300

n 標(biāo)準(zhǔn)晶圓 map 時間：90s（300mm 晶圓上取 49 個點(diǎn)）

n 結(jié)構(gòu)緊湊：400x500 mm， 22 kg

n 樣品臺行程：R (線性) ：150 mm， 精度：12 μm

n 角度（旋轉(zhuǎn)）360°，精度：0.1°