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功能特點(diǎn)

可編程精密控溫?？瑟?dú)立控制，也可從上位機(jī)軟件控制

超低的盤面溫度梯度

獨(dú)立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定多種尺寸晶圓

尺寸超薄，可集成進(jìn)探針臺(tái)

適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓

軟件可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語言的SDK

#升級項(xiàng)# 性能可升級，詳見 配置列表

#選擇項(xiàng)#臺(tái)面為電接地 / 電懸空

#可選項(xiàng)#臺(tái)面開設(shè)用于起模頂桿的孔洞，可快速卸下樣品

#可選項(xiàng)# 下盤面的真空吸氣槽，用于將卡盤固定在實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上

可做改動(dòng)或定制，詳詢上海恒商

技術(shù)參數(shù)

通

用

參

數(shù)

溫度分辨率

0.001℃

溫度穩(wěn)定性

±0.05℃(at 100℃)可提升穩(wěn)定性

溫度均勻度

±0.1℃/cm 可升級均勻性

*小控溫速度

±0.1℃/小時(shí)

溫度傳感器

100Ω鉑質(zhì)RTD

溫控方式

開關(guān)式PID 可升級為LVDC式PID

*其他技術(shù)參數(shù)請參考 常用型號選型表

配置列表

標(biāo)

準(zhǔn)

溫控晶圓夾盤（圓形）

選1

mK2000溫度控制器 軟件免費(fèi)，控制線有多種接口供選

√

升

級

從 BNC同軸接口 升級為Triaxial三同軸接口

三同軸的漏電流和電噪聲更小，可測皮安級微弱信號

選

配

件

液氮制冷系統(tǒng) 包含液氮泵與液氮罐，使樣品降至負(fù)溫

外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過熱

固定支架 把夾盤固定在使用平臺(tái)上，防止滑動(dòng)

溫控聯(lián)動(dòng)顯微鏡相機(jī) 溫度-圖像聯(lián)動(dòng)工作，附軟件

線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里，抑制電噪音

*注：產(chǎn)品有多種配置變化，詳詢上海恒商

常用型號選型表

型號(字母T表示三軸接口)

盤面尺寸

適用樣品尺寸

溫度范圍

**制熱速度

HCC206R/HCC206RT

150 mm

12 mm ～ 152 mm

-100℃ ～ 200℃

+60℃/分鐘(at 100℃)

HCC306R/HCC306RT

-100℃ ～ 310℃

HCC208R/HCC208RT

200 mm

40 mm ～ 203 mm

-80℃ ～ 200℃

+50℃/分鐘(at 100℃)

HCC308R/HCC308RT

-80℃　～ 310℃

HCC20CR/HCC20CRT

300 mm

95 mm ～ 304 mm

-60℃ ～ 200℃

+30℃/分鐘(at 100℃)

HCC30CR/HCC30CRT

-60℃ ～ 310℃

*注：液氮泵型號不同，制冷表現(xiàn)也會(huì)有差異，請悉知。

夾盤上下表面的獨(dú)立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮