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帶空氣軸承的PIglideAT3線性平臺

產(chǎn)品概述

PIglide系列平臺配備伺服驅(qū)動器線性電機，電機配置帶預載的空氣軸承和集成線性編碼器。這類非接觸式零件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，可提供讓人滿意的性能、質(zhì)量和使用壽命。

高推動力線性電機可以在幾毫秒內(nèi)將平臺驅(qū)動至高速度，高承載能力軸承可支承重達60 公斤的有效載荷。該型號中的側(cè)面相對、主動預載空氣軸承設計可實現(xiàn)任意方向上的安裝。

應用領域

PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應用，諸如半導體或平板顯示器制造中的計量、光子學和精密掃描。

由于無摩擦運動，因此不會形成顆粒，從而使平臺成為無塵室應用的優(yōu)先選擇。

附件和可選配件

• 編碼器

• PIglide過濾器和空氣預處理器

• 單軸和多軸運動控制器

• XY裝置和個性化配置

• 電纜軌道變型

• 用于垂直（Z）方向的配重選項

• 可提供定制版

• 花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)