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美國MicroXact為專業(yè)的高品質(zhì)探針臺生產(chǎn)商，邁銳(MicroXact)公司探針臺有手動(dòng)探針臺、半自動(dòng)探針臺、低溫探針臺、三維磁體探針臺等。手動(dòng)探針臺的主要型號：SPS-2000， SPS-2200。
技術(shù)規(guī)格：
技術(shù)規(guī)格 | SPS-2000 | SPS-2200 |
樣品尺寸 | 不大于 150mm | 不大于200mm |
樣品臺XY移動(dòng)范圍 | 155mmx155mm | 200mmx200mm |
樣品臺XY移動(dòng)分辨率 | 5um | 5um |
樣品臺XY移動(dòng)軸承 | 精確橫軋輥 | 精確橫軋輥 |
臺面移動(dòng) | 12.7mm | 12.7mm |
臺面調(diào)整 | 粗調(diào)及細(xì)調(diào)，1.5mm重現(xiàn)性 | |
臺面平整度 | <12.7um (150mm臺面) | <12.7um (200mm臺面) |
臺面剛性 | <50um (4.5公斤承重) | <50um (4.5公斤承重) |
真空卡盤 | 多區(qū)域真空吸附 | |
卡盤平整度 | +/-13um | +/-13um |
卡盤擊穿電壓 | >500V | >500V |
卡盤絕緣性 | >1GW | >1GW |
卡盤調(diào)節(jié) | 360度粗調(diào)，+/-6度細(xì)調(diào) | |
顯微鏡 | 高品質(zhì)立體顯微鏡，放大倍率：3.5X~180X，工作距離：200mm； 多種高倍顯微鏡； | 高品質(zhì)立體顯微鏡，放大倍率：3.5X~180X，工作距離：200mm； 多種高倍顯微鏡； |
電學(xué)接口 | BNC， Triax or Banana plug | BNC， Triax or Banana plug |
尺寸 | 78cm x 80cm x58cm (W x D x H) | 128cm x 122cm x 92cm (W x D x H) |
重量 | 85kg ~ 95kg | 85kg ~ 100kg |
樣品快速裝載選件 | 不包括 | 包括 |
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