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1) 支持超大/超重樣品測(cè)試

　　可搭載的* 大樣品尺寸：“SU3800” 標(biāo)配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)* 大高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立高新技術(shù)的大型掃描電鏡，標(biāo)配可搭載* 大直徑300mm樣品的樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)* 大高度為130mm、重量為5kg(比前代機(jī)型提高2.5倍^*2)的樣品

　　(2) 支持大視野觀察

　　■“SU3800”與“SU3900”的* 大觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

　　■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上指定觀察目標(biāo)位置，即可移動(dòng)視野

　　■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動(dòng)拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

　　(3) 通過自動(dòng)化功能提高操作性能

　　■通過自動(dòng)光路調(diào)整和各種自動(dòng)化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動(dòng)功能執(zhí)行時(shí)的等待時(shí)間比前代機(jī)型^*4縮短了三分之一以下

　　■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件，自動(dòng)監(jiān)控鎢燈絲^*5的狀況，顯示預(yù)計(jì)的更換時(shí)期。在長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時(shí)，也可避免長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。