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ADC100直流放弧探測(cè)器
ADC100直流放弧探測(cè)器

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英福康（廣州）真空儀器有限公司

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特征概覽:

  • 監(jiān)測(cè)直流電源的電壓及功率傳輸
  • 高速采樣頻率，可達(dá)10萬(wàn)赫茲

應(yīng)用：

  • 用于探測(cè)半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽(yáng)能等行業(yè)PVD腔體工藝制程過(guò)程中等離子體放?。ˋrcing）。

創(chuàng)新點(diǎn)

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10分

易用性

10分

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10分
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