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儀器簡介：

此系統(tǒng)通過手動或自動方式實現(xiàn)對材料表面的點電阻或面電阻進行測量表征，可通過圖譜，數(shù)據(jù)，2D或3D方式體現(xiàn)；儀器與電腦連接使用，可通過專業(yè)軟件進行控制，分析。表面電阻(ohm/sq)，電阻率（ohm.cm)測試理想的工具。

廣泛應(yīng)用于半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏。。。

技術(shù)參數(shù)：

面電阻測量：

- 測量模式 : 接觸式 4-探針

電阻率測量：

- 測量模式 : 接觸式 4-探針 (可輸入厚度)

軟件系統(tǒng)：

- 測量條件靈活 : Wafer type， 點間隔測量， etc.

- 儲存& 下載 : 數(shù)據(jù)， wafer 型， 測試點， etc.

- 數(shù)據(jù)分析 : 2D， 3D mapping， data map， etc.

- On/Off : 電腦操控， 真空

- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印

測量模式 (S/W)

-自動檢測: Point interval designation by user

-快速檢測 : ASTM & SEMI Mode

-點測量: Appointment on wafer by mouse

-手動檢測 : Appointment on wafer by arrow key

主要特點：

-X，Y，Z-軸全自動控制系統(tǒng)

-自動& 手動范圍可選

-樣品臺尺寸可根據(jù)客戶訂制

-通過PC進行控制

-數(shù)據(jù)分析 (2D， 3Dmap etc)

-ASTM & SEMI 快速測量模式