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擴(kuò)散氧化爐（科研型）品牌
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技術(shù)指標(biāo)
●適用晶片尺寸 ： 2~8英寸圓片
●工作溫度： 600℃～1300℃；
●可配工藝管數(shù)量：1~2管/臺(tái)
●恒溫區(qū)長度及精度：≤±0.5℃/300~600mm （800℃～1300℃），
● 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）；
●溫度斜變能力：**升溫速率20℃/min，**降溫速率5℃/min；
暫無數(shù)據(jù)！
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