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KLA納米壓痕原位力學測試模塊NanoFlip
KLA納米壓痕原位力學測試模塊NanoFlip

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上海納騰儀器有限公司

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KLA NanoFlip原位納米壓痕力學測試模塊

NanoFlip納米壓痕儀可以提供您的材料研究實驗室?guī)頍o限的便捷。高性能多功能性是NanoFlip設計的標志,當需要進行成像集成,需要進行頻繁的轉換和廣泛的樣本控制時,無論是環(huán)境測量還是原位測試,無論有無真空,都能提供同樣出色的結果。

Fib2Test技術允許用戶將樣品傾斜90度,以便在雙光束SEM內從FIB無縫過渡到壓痕測試,而無需移除樣品。

設計為完全真空兼容,并且具有獨特的樣品觸發(fā)功能,NanoFlip非常適用于現(xiàn)場環(huán)境,如SEM,FIB和真空室,或者當您的實驗帶您遷移時,可以在任何情況下工作可以想象的成像系統(tǒng),如AFM,光學顯微鏡和光學Pro測量儀,為您提供幾乎無限的成像選項。

電磁執(zhí)行器用于KLA生產的所有系統(tǒng),包括NanoFlip。這些執(zhí)行器是堅固的線性裝置,固有地解耦力和位移。它們的**力為50 mN,分辨率為3 nN,超低噪聲電流小于200 nN。

NanoFlip的時間常數(shù)為20微秒,是**同時符合規(guī)格的商用納米壓痕儀,**壓痕行程為50μm,噪聲<0.1nm,數(shù)字分辨率為0.004 nm,漂移率為< 0.05nm/s。

為了確保業(yè)內*廣泛,*可靠的數(shù)據(jù),NanoFlip能夠實現(xiàn)0.1 Hz1 kHz的動態(tài)激勵頻率。

樣品臺移動,Z軸為25 mm,X20 mm,Y軸為20 mm,分辨率為nm,可在大面積上精確定位樣品。

載荷框架剛度> 7 e5N/m

獨特的尖端校準系統(tǒng)集成到軟件中,可實現(xiàn)快速,準確和自動的尖端校準。

可用的方法包,包含聚合物,薄膜和生物材料的提示,方法和標準

可用刮擦選項,**正常載荷為50 mN,**刮擦距離為2.5 mm,**刮擦速度為500μm/ s。

可選的NanoBlitz地形和層析成像軟件,用于材料的3D4D映射。

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