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儀器簡(jiǎn)介：

該儀器為性能穩(wěn)定、功能強(qiáng)大、性?xún)r(jià)比高的霍爾效應(yīng)儀，在國(guó)內(nèi)高校、研究所及半導(dǎo)體業(yè)界擁有廣泛的用戶(hù)和知名度。

本儀器輕巧方便，易于攜帶，主要用于量測(cè)電子材料之重要特性參數(shù)，如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等，薄膜或體材料均可，其原理主要依據(jù)范德堡法則。

除了用來(lái)判斷半導(dǎo)體材料之型態(tài)(n或p)以外，它也可應(yīng)用于LED磊晶層的質(zhì)量判定，也可以用來(lái)判斷在HEMT組件中二維電子氣是否形成，此未還可以用于太陽(yáng)能電池片的制程輔助。

VDP6800可說(shuō)是一套功能強(qiáng)大、應(yīng)用廣泛的系統(tǒng)，再加上平實(shí)的價(jià)格， 相信必能受到各界用戶(hù)之肯定與愛(ài)用。

目前廣泛應(yīng)有于大學(xué)，研究所和半導(dǎo)體廠(chǎng)商。

技術(shù)參數(shù)：

磁場(chǎng)強(qiáng)度：0.65T/1T;

常溫和液氮溫度(77K)下測(cè)量;

輸出電流：2nA-100mA;

遷移率(cm2/Volt-sec):1-107

阻抗(Ohms.cm):10-6 to 107

載流子濃度(cm-3):107 - 1021

樣品夾具：

VDP6800彈簧樣品夾具(免去制作霍爾樣品的麻煩)；

測(cè)量材料：所有半導(dǎo)體材料包括Si，ZnO，SiGe，SiC，GaAs，InGaAs，InP，GaN(N型&P型均可測(cè)量)

儀器尺寸(WxDxH)：260*220*180 mm

儀器重量：6kg

主要特點(diǎn)：

1、高精密度電流源

輸出電流之精確度可達(dá)2nA，如此微小之電流可用于半絕緣材料之量測(cè)，即高電阻值材料之量測(cè)。

2、高精密度電表

使用超高精度電表，電壓量測(cè)能力可達(dá)nV等級(jí)，上限可達(dá)300V，極適合用于量測(cè)低電阻值材料。

3、外型精簡(jiǎn)、操作簡(jiǎn)單

外型輕巧、美觀(guān)大方，磁鐵組之極性更換也很靈活容易，獨(dú)特之液氮容器設(shè)計(jì)，可確保低溫量測(cè)之穩(wěn)定性**。

4、I-V曲線(xiàn)

采用圖表的方式，測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A、B、C、D)間電流-電壓曲線(xiàn)，藉此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞。

5、單純好用之操作畫(huà)面

使用者只需在同一張操作畫(huà)面中，就可以完成所有的設(shè)定，實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，并在同一張畫(huà)面中顯示出來(lái)，省卻畫(huà)面切換的麻煩，結(jié)果可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、等重要實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。

6、自行開(kāi)發(fā)之彈簧樣品夾具，特殊設(shè)計(jì)之彈簧探針，其強(qiáng)度加強(qiáng)可改善探針與接觸點(diǎn)之電氣接觸，提高量測(cè)之可靠度。

7、可與四點(diǎn)探針公用系統(tǒng)