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化學(xué)氣相沉積爐品牌
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旋片泵：真空度在空爐冷態(tài)可達 1pa,(可選分子泵真空機組，真空度可達到6.67x10-5pa）
真空計:數(shù)顯真空計實時顯示真空度，精度高。
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