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SCET420系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐品牌
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◆ 設(shè)備采用先進(jìn)的電磁屏蔽技術(shù)；
◆ 同時對真空、溫度等控制參數(shù)定點標(biāo)定及二次校準(zhǔn)，減小機差；
◆ 增強碳批量化生產(chǎn)的工藝可復(fù)制性。
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