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高純度石墨根據(jù)均勻細顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料，對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力，很強的抗腐蝕性，純度高沒有金屬離子不會對半導(dǎo)體產(chǎn)生污染，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會造成高的損耗，故這時應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。
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