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RDB-BC-Al2O3品牌
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上海研倍新材料 專業(yè)生產(chǎn)定制 各類靶材 合金靶材
1、產(chǎn)品信息
貨號 | 厚度 | 純度（%） | 形貌 | 顏色 |
RDB-BC-Al2O3 | 可定制 | 99.9 | 靶材 | 白色或淺灰色 |
2、產(chǎn)品規(guī)格
定制
3、產(chǎn)品概述
氧化鋁Al2O3靶材是一種硬質(zhì)、化學(xué)穩(wěn)定性高的材料，廣泛應(yīng)用于薄膜制備過程中。它能夠提供穩(wěn)定的濺射源，用于制備具有優(yōu)異物理、化學(xué)性能的薄膜材料。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，氧化鋁靶材用于制造集成電路中的絕緣層和介電層，提高電路的性能和可靠性。在光電器件中，氧化鋁靶材用于制備透明導(dǎo)電膜和抗反射層，提升器件的光電轉(zhuǎn)換效率。
4、產(chǎn)品用途
薄膜沉積：氧化鋁靶材可用于物理氣相沉積 (PVD) 或化學(xué)氣相沉積 (CVD) 過程，用于制備氧化鋁薄膜，這些薄膜可用于絕緣層、保護層或介電層。
光學(xué)涂層：氧化鋁靶材可用于制備光學(xué)涂層，如抗反射涂層、反射鏡涂層等。
硬質(zhì)涂層：氧化鋁薄膜可用于制備硬質(zhì)涂層，如陶瓷涂層、刀具涂層等。
電子器件：氧化鋁靶材可用于制備電子器件中的絕緣層或介電層，如集成電路、光電子器件等。
電磁屏蔽：ATO材料對微波的衰減性使其在計算機房、雷達屏蔽保護區(qū)等需要屏蔽電磁波的領(lǐng)域有應(yīng)用潛力。
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