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核心技術(shù)：
**磁浮Carrier導(dǎo)軌結(jié)合特殊導(dǎo)流氣體設(shè)計(jì)，降低微粒發(fā)生；
自主濺鍍線體設(shè)計(jì)，掌控in-line 腔體設(shè)計(jì)核心
可調(diào)式進(jìn)出片時序控制與防撞片監(jiān)控系統(tǒng)，可配合不同使用規(guī)格需求客制化產(chǎn)能、膜厚搭配性。
先進(jìn)性：
降溫腔體設(shè)計(jì)，解除翹曲顧慮；
陰極靶材冷卻設(shè)計(jì)，保證大功率長時間操作穩(wěn)定性佳。
暫無數(shù)據(jù)！
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