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鈣鈦礦太陽能電池蒸發(fā)設(shè)備ZDF3200品牌
北京泰科諾產(chǎn)地
北京樣本
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鍍膜方式：蒸發(fā)
腔室結(jié)構(gòu)：方箱式
工藝室尺寸：L1900mmxH2200mmxW550mm
進(jìn)樣室：500mm×600mm×400mm
過渡室：500mm×600mm×400mm
極限真空：6×10-5pa
基片臺(tái)尺寸：300mm×400mm
基片溫度：常溫
均勻性：≤±5.0%
濺射靶：低溫和高溫線源配置
控制：PC
點(diǎn)地面積：4000mm×2500mm×2200
功率：70KW三相五線制
1. 技術(shù)先進(jìn)、設(shè)計(jì)優(yōu)化，性價(jià)比高，性能穩(wěn)定，使用維護(hù)成本低；
2. 廣泛應(yīng)用于鈣鈦礦太陽能電池/OPV有機(jī)太陽能電池等各種膜層的制備；
如：鈣鈦礦層、電子傳輸層及背電極等膜層的制備；
暫無數(shù)據(jù)！
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