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低溫真空泵品牌
安徽萬(wàn)瑞產(chǎn)地
安徽樣本
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低溫真空泵(又稱冷泵)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理抽氣的超高真空獲得設(shè)備。低溫真空泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光學(xué)鍍膜、太陽(yáng)能電池板、平板顯示器、光電子器件和真空電子器件的制造工藝過(guò)程，是集成電路制造工藝設(shè)備PVD、離子注入的關(guān)鍵零部件之一。低溫真空泵也用于各種空間環(huán)境模擬、高能物理、加速器、真空校準(zhǔn)檢測(cè)等真空應(yīng)用設(shè)備中。
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