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SiC單晶生長設(shè)備品牌
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SIC單晶生長設(shè)備
1、生長反應(yīng)裝置中安裝有上、下2個溫度傳感器，可準確計算出晶體生長的**△T；
2、特殊的RF-Coil(加熱線圈)設(shè)計和電源供應(yīng)設(shè)備的**結(jié)合，為晶體生長提供穩(wěn)頻、穩(wěn)壓的電源；
3、特殊的熱場設(shè)計，可實現(xiàn)8~10次的循環(huán)使用，降低生產(chǎn)成本；
4、晶體生長全過程可達到自動化及數(shù)據(jù)記錄和管理；
5、優(yōu)越的真空、氣體、冷卻水控制功能，可確保長時間穩(wěn)定、安全的晶體生長。
暫無數(shù)據(jù)！
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