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介質(zhì)要求 ； 潔凈干燥氣體
氣體種類(lèi) ； 98+氣體可選
量程 ；10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測(cè)量范圍 ； 0.5%-100% F.S.
準(zhǔn)確度 ； ±0.5% F.S.
重復(fù)精度 ； ±0.2%F.S.
線(xiàn)性度 ； ±0.2%F.S.
分辨率 ； 0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
傳感器響應(yīng)時(shí)間 ；<1s
預(yù)熱時(shí)間 ； 5 min（T95），30 分鐘**
機(jī)械特性
**工作壓力 3 MPa（30bar）
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 -20~65℃℃（環(huán)境和氣體）
溫度范圍 0 ~ 98%無(wú)凝露
氣路接頭類(lèi)型 快插、快擰、卡套、VCR（可選）
氣體接觸材質(zhì) 氟橡膠、316不銹鋼
密封材質(zhì) 氟橡膠 FKM
防護(hù)等級(jí) IP40
安裝方式 水平安裝方向校準(zhǔn)
固定孔 M4 ↓ 5mm
重量 0.82kg
電氣和通訊 電氣連接接口類(lèi)型 DB9 公頭
模擬信號(hào) 0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）
輸入輸出阻抗 輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ
模擬數(shù)據(jù)更新頻率 200Hz
數(shù)字信號(hào) RTU （RS232， RS485），CAN
通信速率 9600（默認(rèn)），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）
電源 15-40 VDC，<200 mA
顯示更新頻率 50Hz
模擬信號(hào)精度 ±0.05%F.S.
特征
標(biāo)況 20℃ & 1 atm
氣體選擇 98種氣體可選，具體參考說(shuō)明書(shū)氣體系數(shù)
軟件 Aitoly分階流量軟件
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