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高純石英坩堝用提純電極
產(chǎn)品概述：
用電弧法制的半導(dǎo)體半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光伏單晶硅產(chǎn)業(yè)已普遍采用這種坩堝取代了小的透明石英坩堝，具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
在電弧法制備石英坩堝中，提純石墨電**有耐高溫、導(dǎo)電、高純度等優(yōu)點(diǎn)，是目前廣泛使用的導(dǎo)電電極。
技術(shù)指標(biāo)
指標(biāo) | KW-RG | KW-HG |
體積密度（g/cm3） | 1.68-1.72 | 1.75-1.80 |
抗壓強(qiáng)度(Mpa ) ≥ | 40 | 45 |
抗折強(qiáng)度(Mpa) ≥ | 20 | 22 |
電阻率( μΩM ) ≤ | 8.5 | 8.0 |
灰分(ppm) | 30-50 | 10-30 |
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