功率（kw）：
-重量（kg）：
-規(guī)格外形（長*寬*高）：
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清洗是貫穿半導體產(chǎn)業(yè)鏈的重要工藝環(huán)節(jié)，用于去除半導體硅片制造、晶圓制造和封裝測試每個步驟中可能存在的雜質(zhì)，避免雜質(zhì)影響芯片良率和芯片產(chǎn)品性能。清洗步驟數(shù)量約占所有芯片制造工序步驟的 30%以上，是所有芯片制造工藝步驟中占比**的工序。隨著技術節(jié)點的繼續(xù)進步，清洗工序的數(shù)量和重要性將繼續(xù)隨之提升。
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