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蜂窩墊品牌
中微力合產(chǎn)地
廣東樣本
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主要優(yōu)點(diǎn)在于孔深度比目前市面上的要深，故使用壽命長(zhǎng)?？组g距跟孔大小比例優(yōu)化**，配上我司自主研發(fā)的聚晶金剛石液磨削效率極高。
產(chǎn)品可以定制化，**一整張可以做到1300mm。產(chǎn)品不屬于危險(xiǎn)品，無(wú)需特殊包裝，運(yùn)輸途中勿彎折即可。
本蜂窩墊主要用于半導(dǎo)體晶圓片，如：藍(lán)寶石、碳化硅晶圓及所有超硬脆材料的超精細(xì)研磨。
片材沖切，蜂窩網(wǎng)格槽結(jié)構(gòu)均勻；
背膠耐高溫，粘性強(qiáng)，換盤不易殘膠，表面平整；
研磨精度高；
肓孔深度深，使用壽命長(zhǎng)；
孔間距大小比例優(yōu)化**，配上我司自主研發(fā)的聚晶金剛石液磨削效果**；
可替代銅盤工藝，節(jié)能、環(huán)保、無(wú)污染。
材料去除率
金剛石液D50碳化硅
晶圓藍(lán)寶石
C向氧化鋯
陶瓷氧化鋁
陶瓷氮化鋁
陶瓷氧化硅 ZW-301(3μm) 2 2.5 3.5 4 3 3 ZW-302(2μm) 1.5 1.6 3 3 2.5 2.3 ZW-303(1.5μm) 1 1.2 2 2.5 2 1.5 ZW-401(1μm) 0.8 1 1.2 ZW-501(0.5μm) 0.4 0.5 0.8 ZW-601(0.2μm) 0.2 0.3 ZW-40 2.5
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