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德國研制出大直徑氟化鈣單晶


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    最近,德國耶拿ML微電子公司成功地研制出35Omm直徑的氟化鈣單晶體,可用于制造70nm微細結構芯片。專家對這種新一代芯片和未來半導體產品市場前景看好。該公司首次采用了氟化鈣材料拉制單晶,單晶在真空爐里持續(xù)生長2個月,最后制得的單晶直徑達35Omm,高100mm。利用氟化鈣單晶加工芯片,芯片的微細結構可以小至70nm,而目前硅單晶芯片的微細加工只能達到193nm。大直徑氟化鈣單晶的研制成功為生產新一代芯片奠定了基礎,使公司在這一技術方面處于世界領先水平。    
    另據(jù)報道,繼1998年德美合資建成世界首座300mm單晶硅芯片生產廠后,最近,德方準備再投10億歐元,建立第2個3O0mm單晶硅芯片生產廠,以確保德國在30Omm半導體芯片生產的國際競爭地位。世界半導體產品市場的最新調查表明,未來幾年半導體產品市場仍然旺銷,1999年的銷售額為 836O億美元,2004年預計將達到 l.3萬億美元。
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