2003年度上海市納米科技計(jì)劃項(xiàng)目申請?jiān)u審結(jié)果已揭曉，微系統(tǒng)所獲2項(xiàng)資助，分別是信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室吳惠楨研究員申請的《新型立方相MgZnO納米高K材料研究》和半導(dǎo)體薄膜工程中心劉波博士申請的《納電子器件C-RAM關(guān)鍵材料制備工藝》，2個(gè)項(xiàng)目合計(jì)獲資助55萬元。
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