由青海大學(xué)和青海省方盛
磨料磨具公司共同承擔(dān)的《半導(dǎo)體制造用高純超細(xì)
碳化硅粉末產(chǎn)品開(kāi)發(fā)》高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目最近通過(guò)驗(yàn)收。
這一項(xiàng)目采用碳化硅單結(jié)晶加工物做為粉碎介質(zhì)、應(yīng)用水流粉碎機(jī)、粉碎工程內(nèi)分級(jí)和酸堿洗凈技術(shù)，開(kāi)發(fā)出了純度高、雜質(zhì)含量低的超細(xì)碳化硅微粒，并打入了國(guó)際市場(chǎng)。目前，這種產(chǎn)品已試生產(chǎn)了60噸，新增利潤(rùn)72萬(wàn)元。
驗(yàn)收評(píng)審中，專(zhuān)家委員會(huì)認(rèn)為這個(gè)項(xiàng)目中的工藝路線具有創(chuàng)新性，研究總體水平達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平，項(xiàng)目開(kāi)發(fā)出的產(chǎn)品附加值高，成本低，具有顯著的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)效益和廣闊的應(yīng)用前景。
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