中國粉體網(wǎng)訊  碳化硅，要卷瘋了！中國碳化硅產(chǎn)業(yè)更是“卷”出強(qiáng)大，走出國門，國際大廠更是紛紛與國內(nèi)企業(yè)展開合作。隨著國內(nèi)外之間的合作，值得關(guān)注的是，國內(nèi)外碳化硅產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)有何差異？而對(duì)比差異補(bǔ)充不足對(duì)我國碳化硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展極為重要。

來源：天域半導(dǎo)體

國內(nèi)外SiC產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化概況

碳化硅作為一種化學(xué)成分較為單一的無機(jī)化工原料，其相關(guān)的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)較少，多為碳化硅的化學(xué)分析標(biāo)準(zhǔn)及檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。

1.國內(nèi)SiC產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化概況

中國目前已基本建成了一套由國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和地方標(biāo)準(zhǔn)組成的碳化硅標(biāo)準(zhǔn)體系。目前現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)共24項(xiàng)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)共38項(xiàng)，地方標(biāo)準(zhǔn)共3項(xiàng)。我國現(xiàn)行的碳化硅產(chǎn)品技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)只有1個(gè)，即GB/T 2480《普通磨料碳化硅》。

2.國外SiC產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化概況

從國外發(fā)達(dá)國家與組織碳化硅及其制品標(biāo)準(zhǔn)制定情況來看，國際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）現(xiàn)行的碳化硅及其制品相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)共有6項(xiàng)；美國現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)共有14項(xiàng)；歐洲現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)共有49項(xiàng)；日本現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)共有5項(xiàng)；俄羅斯現(xiàn)行的碳化硅相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)共有8項(xiàng)。

現(xiàn)行的國外碳化硅相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)有2個(gè)，即羅馬尼亞標(biāo)準(zhǔn)SR 5064《碳化硅》和俄羅斯標(biāo)準(zhǔn)GOST 26327《碳化硅磨料技術(shù)規(guī)范》。

對(duì)于碳化硅的的分類標(biāo)準(zhǔn)：ISO沒有給出碳化硅的分類標(biāo)準(zhǔn)；美國ASTM對(duì)纖維增強(qiáng)碳化硅的復(fù)合結(jié)構(gòu)給出了分類標(biāo)準(zhǔn)；俄羅斯對(duì)纖維增強(qiáng)碳化硅復(fù)合材料也給出了分類標(biāo)準(zhǔn)；截至目前，我國還沒有碳化硅相關(guān)的分類標(biāo)準(zhǔn)。

國內(nèi)外碳化硅產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)對(duì)比研究

1.碳化硅產(chǎn)品分類

中國工業(yè)生產(chǎn)的碳化硅主要是黑色碳化硅（SiC含量約95%）和綠色碳化硅（SiC含量約97%以上）兩種。

磨料碳化硅分為陶瓷結(jié)合劑磨具、砂帶用黑碳化硅；陶瓷結(jié)合劑磨具、砂帶用綠碳化硅；有機(jī)結(jié)合劑磨具用黑碳化硅；有機(jī)結(jié)合劑磨具用綠碳化硅；手工打磨的砂頁用黑碳化硅；手工打磨的砂頁用綠碳化硅。

俄羅斯國家標(biāo)準(zhǔn)對(duì)碳化硅磨料分為綠色碳化硅和黑色碳化硅兩種。羅馬尼亞國家標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)顏色將碳化硅分為綠色碳化硅（GC）和黑色碳化硅（GC）；根據(jù)碳化硅含量（SiC）分為優(yōu)質(zhì)碳化硅（S）和普通碳化硅（N）。

 中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB與日本JIS、俄羅斯GOST標(biāo)準(zhǔn)綠碳化硅化學(xué)成分對(duì)比

2.碳化硅晶片

針對(duì)碳化硅晶片產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，目前我國國家標(biāo)準(zhǔn)有多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，國外無相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。有關(guān)缺陷測(cè)試方法，國內(nèi)有一個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和一個(gè)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。

對(duì)比種種標(biāo)準(zhǔn)來看：

（1）國外有關(guān)碳化硅標(biāo)準(zhǔn)都制定了碳化硅產(chǎn)品的理化性能標(biāo)準(zhǔn)，其指標(biāo)要求比中國國家標(biāo)準(zhǔn)寬松。但在對(duì)外技術(shù)交流和貿(mào)易合作過程中，發(fā)現(xiàn)發(fā)達(dá)國家碳化硅生產(chǎn)企業(yè)和應(yīng)用企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo)遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于其所在國家標(biāo)準(zhǔn)和我國國家標(biāo)準(zhǔn)。有些項(xiàng)目在我國國家標(biāo)準(zhǔn)和部分企業(yè)實(shí)際質(zhì)量控制中未列入檢測(cè)控制項(xiàng)目，如：振實(shí)密度、比表面積、清潔度、韌性、電導(dǎo)率等；

（2）針對(duì)碳化硅粒度砂與微粉產(chǎn)品，發(fā)達(dá)國家根據(jù)其用途不用，按照對(duì)口專用、精密化、綜合利用原則，分成了多種牌號(hào)專用產(chǎn)品，專用產(chǎn)品的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)指標(biāo)要求也不同，使生產(chǎn)者和使用者找到了最佳結(jié)合點(diǎn)，產(chǎn)品產(chǎn)生了最大效益。

（3）從碳化硅磨料的化學(xué)分析方法標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)和含碳化硅耐火材料化學(xué)分析方法標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)結(jié)果看，我國國家標(biāo)準(zhǔn)的比對(duì)項(xiàng)目相較于美國、歐盟及日本等發(fā)達(dá)國家及地區(qū)而言較為完整，但也有個(gè)別項(xiàng)目沒有涉及，例如：碳化硅磨料的碳化硅、表面硅酸以及全硅等。

（4）從碳化硅晶片相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)結(jié)果看，我國國家標(biāo)準(zhǔn)對(duì)碳化硅單晶拋光片以及晶片檢測(cè)方面制定了相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，而美國、歐盟、日本等發(fā)達(dá)國家及地區(qū)沒有涉及。針對(duì)碳化硅外延片表面缺陷的測(cè)試環(huán)境，我國國家標(biāo)準(zhǔn)相較于歐盟以及日本標(biāo)準(zhǔn)要求更高。

對(duì)策建議分析

1.優(yōu)勢(shì)與不足

國內(nèi)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)優(yōu)勢(shì)。目前國內(nèi)碳化硅材料供應(yīng)基地全面掌握了高純碳化硅粉料制備工藝、4英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底的制備工藝，形成了從碳化硅粉料制備、晶體生長(zhǎng)、晶片加工、外延驗(yàn)證等整套碳化硅材料研制線，在國內(nèi)最早實(shí)現(xiàn)了高純度碳化硅單晶的商業(yè)化量產(chǎn)，高純碳化硅粉料純度和晶體良品率居于國際先進(jìn)水平，徹底解決了國外對(duì)我國碳化硅封鎖的局面，實(shí)現(xiàn)了完全自主供應(yīng)。

國內(nèi)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)不足。從產(chǎn)品來看，國內(nèi)碳化硅產(chǎn)品主要集中在中低端市場(chǎng)，真正用于高精尖科技，比如：高級(jí)研磨粉、精密電子元件等方面的碳化硅產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)還被國外壟斷；在碳化硅深加工產(chǎn)品上，對(duì)粒度砂和微粉產(chǎn)品的質(zhì)量管理不夠精細(xì)，產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠，國內(nèi)產(chǎn)品技術(shù)含量低，與美國、日本、歐洲等發(fā)達(dá)國家及地區(qū)先進(jìn)水平相比還有較大差距，國內(nèi)高端技術(shù)產(chǎn)品缺乏。

此外，西方發(fā)達(dá)國家從事該產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)時(shí)間早經(jīng)驗(yàn)豐富，產(chǎn)品指標(biāo)領(lǐng)先我國，且產(chǎn)品驗(yàn)證周期長(zhǎng)、產(chǎn)品技術(shù)壁壘難以打破，國內(nèi)產(chǎn)品難以進(jìn)入國際市場(chǎng)。

最后，碳化硅屬于發(fā)展中產(chǎn)品，有較大的市場(chǎng)需求，但其工藝不成熟，標(biāo)準(zhǔn)也處于低發(fā)展?fàn)顟B(tài)，例如：沒有統(tǒng)一的包裝標(biāo)準(zhǔn)，檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)不完善等。

2.對(duì)策及建議

針對(duì)我國碳化硅產(chǎn)品發(fā)展存在的不足，提出了下述建議和對(duì)策：

（1）制定培育和扶持碳化硅產(chǎn)品的政策和實(shí)施細(xì)則。

（2）修訂完善碳化硅產(chǎn)品的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)體系。

（3）借助科技力量，加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新。

參考來源：

李景等：國內(nèi)外碳化硅標(biāo)準(zhǔn)比對(duì)分析

電子電力網(wǎng)：2023盤點(diǎn)，頭部碳化硅大廠的奮力進(jìn)擊

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（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

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