隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體材料的革新速度也進(jìn)一步加快。當(dāng)前，碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表，在新能源汽車、光伏、儲能等新興領(lǐng)域正快速滲透，已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的前沿和制高點。同時，我國“十四五”規(guī)劃已將碳化硅半導(dǎo)體納入重點支持領(lǐng)域，碳化硅半導(dǎo)體將在我國5G基站建設(shè)、特高壓、城際高速鐵路和城市軌道交通、新能源汽車充電樁、大數(shù)據(jù)中心等新基建領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。
近年來，我國在SiC材料領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展，但與國際先進(jìn)水平相比，在晶體生長技術(shù)、晶圓加工技術(shù)等方面仍存在一定差距。SiC晶體生長過程中面臨著晶體缺陷控制、生長速率提升、晶體質(zhì)量穩(wěn)定性等難題；晶圓加工方面，則存在加工精度不足、良品率低、加工成本較高等挑戰(zhàn)。在當(dāng)前倡導(dǎo)節(jié)能減排的大趨勢下，快速穩(wěn)定地突破碳化硅單晶尺寸和質(zhì)量等關(guān)鍵問題，才能夠更好地占據(jù)未來碳化硅市場。
在此背景下，中國粉體網(wǎng)將于2025年8月21日在江蘇·蘇州舉辦第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長及晶圓加工技術(shù)研討會，大會將匯聚國內(nèi)行業(yè)專家、學(xué)者、技術(shù)人員、企業(yè)界代表圍繞晶體生長工藝、關(guān)鍵原材料、生長設(shè)備及應(yīng)用、碳化硅晶片切、磨、拋技術(shù)等方面展開演講交流。浙江森永光電設(shè)備有限公司作為參展單位邀請您共同出席。
浙江森永光電設(shè)備有限公司致力于高精密平坦化研磨拋光技術(shù)的研究與應(yīng)用，生產(chǎn)制造一系列高品質(zhì)精密單雙面研磨、拋光機械。
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品廣泛適用于LED藍(lán)寶石襯底、電子材料（硅片、鍺片等）、陶瓷基片、光學(xué)玻璃、石英晶體、液晶顯示、記憶硬盤以及其它半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬硬脆易碎薄形精密零件的研磨和拋光。經(jīng)過單、雙面精密研磨和拋光后可輕易使工件達(dá)到平坦度0.3 um,平行度1 um,厚度差1 um,面粗度0.01um以下的精密程度，可滿足半導(dǎo)體芯片制造、高精密陶瓷零部件、精密光學(xué)零部件以及精密機械配件的生產(chǎn)加工需要。
客戶評價
在眾多客戶的關(guān)心與支持下浙江森永光電設(shè)備有限公司發(fā)展迅速，憑借過硬的產(chǎn)品品質(zhì)與雄厚的技術(shù)力量贏得了市場的認(rèn)可和客戶的信賴。產(chǎn)品在半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、壓電晶體等行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用并得到了客戶的一致好評和信任。
經(jīng)營理念
公司始終伋小岸栽憊じ涸稹⒍云笠蹈涸�、峨E緇岣涸稹鋇木謚跡岢幀耙勻宋盡⒊閑判艘怠⒖萍即蔥隆鋇木砟�，蛻痒|鶉�，努力词[攏τ肟突е浯罱崾黨志玫暮獻(xiàn)髕教�，实现双方的韩I(xiàn)鞴糙A。
產(chǎn)品介紹
1、6B/6.4B高精度雙面研磨/拋光機
主要部件
軸承：NSK/THK
電機減速機：臺灣東元+自制高精密蝸輪蝸桿減速機
氣動 元件： SMC+CKD
可編程控制器PLC：三菱
變頻器：三菱
人機界面：三菱
鑄件： 灰鑄鐵HT300
齒輪：齒輪鋼鍛打成型，插齒后齒面高頻淬火，最后磨齒加工
機座：整體鑄造底座
中心軸：鍛造一體軸
設(shè)備參數(shù)
雙面研磨/拋光機
名 稱：6B/6.4B高精度雙面研磨/拋光機
機械尺寸：長1150㎜×寬900㎜×高2170.5㎜
機械重量：1025KG
參數(shù)表
加工參數(shù)
| 機型 | 5B-5L/P | 6B-5L/P | 6.4B-9L/P | |
| 定盤尺寸 | 研磨(mm） | Φ380xΦ220xt25 | Φ148xt25 | Φ238xt25 |
| 拋光(mm） | Φ210xt25 | Φ135xt25 | Φ238xt25 | |
| 游星輪參數(shù) | 模數(shù) | DP12 | DP12 | M2 |
| 齒數(shù) | Z50 | Z66 | Z50 | |
| 節(jié)圓(mm） | 100.15 | 139.7 | 100 | |
| 驅(qū)動方式 | 3馬達(dá) | . | . | . |
| 游星輪張數(shù) | 5 | 5 | 9 | |
| 最大加工直徑（mm） | 87 | 105 | 80 | |
| 最大加工厚度（mm） | 46 | 46 | 46 | |
其他參數(shù)
| 齒圈 | 可使用電氣按鈕自動升序 | 動力 | 輸入: 3相380V 50HZ 電流容量: 30A 主回路:3相380V50H 控制回路: 110V |
| 加工壓力 | 最低工作壓力: 5KG(50N) 標(biāo)準(zhǔn)最高工作壓力: 80KG ( 800N何根據(jù)使用要求拓展 壓力控制方式:精密稱重傳感器+PLC+電控比例閥實現(xiàn)壓力的閉環(huán)反饋控制,對壓力實時監(jiān)控、實時校準(zhǔn),保證壓力的精準(zhǔn)和穩(wěn)定。 | 轉(zhuǎn)速 | 下定盤: 1 ~ 45RPM 上定盤: 1 ~ 15RPM 中心齒: 1 ~ 20RPM 環(huán)齒圈: 1 ~ 16RPM |
| 水源 | 15MPa 20L /Min | 使用環(huán)境 | ●15~35。C ●濕度:: 85%以嚇,污水凝結(jié); ● 空氣質(zhì)量:無腐蝕性、無可燃性、有害性氣體、無污染物灰塵等等 |
| 氣源 | 0.5~0.6MPa 75L /Min | 排液波紋管 | 內(nèi)徑Φ60 |
產(chǎn)品特點
國內(nèi)首家采用3-Motor驅(qū)動方式即上下定盤、齒圈、中心齒電機均可以獨立控制，在不改變齒圈、中心齒運轉(zhuǎn)方向的情況下輕松實現(xiàn)游星輪正反轉(zhuǎn),實現(xiàn)游星輪正反轉(zhuǎn)可以穩(wěn)定地加工工件從而實現(xiàn)定盤自適應(yīng)修盤.亦可中心齒單獨逆轉(zhuǎn)修盤。
3-Motor運動方式使動力源更加分散,機器更加平穩(wěn)、噪音更小、精度更高;游星輪運轉(zhuǎn)的適應(yīng)性提高,游星輪的磨耗也能減少到最低限度，大大延長游星輪的使用壽命。
機器可由CPU自行分配上定盤下定盤、中心齒、齒圈的轉(zhuǎn)速，也可以操作人員按照自己的計算和經(jīng)驗單獨為上下定盤、中心齒、齒圈設(shè)定合適的轉(zhuǎn)速,可方便操作人員更好地設(shè)計工件的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)軌跡,設(shè)定任意的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)比,達(dá)到最佳的加工條件和最優(yōu)的加工結(jié)果。
齒圈電動升降
SMC精密電氣比例控制閥+壓力傳感器實現(xiàn)壓力平穩(wěn)變化,最大可能消除多余的荷重以及額外的沖擊,保護(hù)被加工工件的安全;上定盤落盤和起盤的壓力均可人工手工設(shè)定,最大限度地保護(hù)被加工工件的安全。
三菱大尺寸數(shù)字化人機界面+三菱高品質(zhì)PLC模塊,內(nèi)部可保存20個20步程序,大大減少了對操作員工的技術(shù)要求,大幅提高產(chǎn)品合格率。
2、ES32B/36B單面拋光機
設(shè)備參數(shù)：單面研磨/拋光機
名 稱：ES32B/36B單面拋光機
機械尺寸：長1484㎜×寬1250㎜×高2054㎜
機械重量：2600KG
參數(shù)表
設(shè)備參數(shù)
| 32B | 36B | |||
定盤直徑 | 812.8 | 定盤直徑 | 914 | |
| 壓力板直徑 | 304.8 | 壓力板直徑 | 360 | |
| 機器尺寸 | 1484 x 1250 x 2054 | 機器尺寸 | 1484x 1250 x 2054 | |
| 機器重量 | 2300KG | 機器重量 | 2600KG | |
| 電源 | 380V/50Hz | 電源 | 380V/50Hz | |
| 馬達(dá)功率 | 7.5KW | 馬達(dá)功率 | 7.5KW | |
| 定盤回轉(zhuǎn)數(shù) | 0-87RPM/Min | 定盤回轉(zhuǎn)數(shù) | 0-87RPM/Min | |
其他參數(shù)
機器重量 | 32B 2300KG ●36B 2600KG | 驅(qū)動電機 | ●0.2KWx4 0.8KW PP頭驅(qū)動電機 ●7.5KW下定盤驅(qū)動電機 |
| 電源 | 380V/50Hz | 定盤回轉(zhuǎn)數(shù) | ●0~87RPM |
| P.P 回轉(zhuǎn)數(shù) | 0~ 70 RPM | P.P 最大壓力 | ●300KG |
| 氣源壓力 | 0.6MPa | 水源壓力 | ●0.8KG |
| 單次加工數(shù)量 | 32B ●2"片 單P.P 20片 4P.P 80片 ●4"片 單 P.P 5片 4P.P 20片 36B ●2"片 單P.P 25片 4P.P 100片 ●4"片 單P.P 7片 4P.P 28片 ●6"片 單P.P 3片 4P.P 12片 | 使用環(huán)境 | 15~ 35° C ●濕度: 85%以下,污水凝結(jié); ●空氣質(zhì)量:無腐蝕性.無可燃性、有害性氣體、無污染物、灰塵等等 |
產(chǎn)品特性
4個P.P盤獨立控制可四軸同時加工也可單個P.P獨立加工
P.P單頭壓力可達(dá)300Kg(可擴(kuò)展),壓力可在觸摸屏中監(jiān)控和調(diào)整
特制低摩擦空壓氣缸非市售-般氣缸, 氣缸軸粗壯避免偏擺
定盤帶有自動水冷機構(gòu)，防止加工物和定盤發(fā)熱,通過恒溫冷水的流動實現(xiàn)定盤溫度的恒定,并可通過紅外溫度傳感器在觸摸屏中監(jiān)控。
4個P.P盤變頻電機強制驅(qū)動, P.P轉(zhuǎn)速可調(diào)
4個P.P盤可以于兩側(cè)分別單獨操作,也可以在觸摸屏中集中操作
4個P.P盤分別有獨立穩(wěn)壓系統(tǒng)
4個P.P盤可以實現(xiàn)“快下降、緩下降、緩上升、快上升”
P.P著盤壓力可控,保證無法承受高壓力晶片的加工
會務(wù)組
聯(lián)系人：段經(jīng)理
電話：13810445572
郵箱：duanwanwan@cnpowder.com
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