中國(guó)粉體網(wǎng)訊  2025年4月16日，由中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的“2025第二屆高端研磨拋光材料技術(shù)大會(huì)”在河南鄭州成功舉辦！大會(huì)期間，中國(guó)粉體網(wǎng)邀請(qǐng)到多位業(yè)內(nèi)專(zhuān)家學(xué)者做客“對(duì)話(huà)”欄目，就高端研磨拋光材料與技術(shù)、研磨拋光裝備及應(yīng)用、行業(yè)未來(lái)發(fā)展等方面進(jìn)行了訪談交流。本期，我們邀請(qǐng)到的是廣東惠爾特納米科技有限公司鐘榮峰經(jīng)理。

中國(guó)粉體網(wǎng)：鐘經(jīng)理您好，請(qǐng)從主營(yíng)產(chǎn)品、企業(yè)規(guī)模以及研發(fā)實(shí)力三個(gè)方面介紹一下廣東惠爾特納米科技有限公司。

鐘經(jīng)理：廣東惠爾特納米科技有限公司主要致力于納米二氧化硅相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)與生產(chǎn)，主營(yíng)產(chǎn)品包括多種硅溶膠及延伸產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體拋光、鑄造、涂料、陶瓷拋光、催化劑等多個(gè)領(lǐng)域。這些納米二氧化硅產(chǎn)品具有粒徑均勻、分散性好等特點(diǎn)，能為下游產(chǎn)業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的原料支持。

公司擁有7個(gè)現(xiàn)代化的生產(chǎn)基地，占地面積達(dá)30萬(wàn)平方米，產(chǎn)能達(dá)到每年20萬(wàn)噸，配備了先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備與檢測(cè)儀器。目前企業(yè)員工總數(shù)約300人，其中涵蓋了生產(chǎn)、研發(fā)、銷(xiāo)售等各個(gè)專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域的人才，形成了較為完善的企業(yè)運(yùn)營(yíng)體系。

公司高度重視研發(fā)創(chuàng)新，組建了一支由多位行業(yè)資深專(zhuān)家領(lǐng)銜的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，團(tuán)隊(duì)成員有多名博士、碩士學(xué)歷人員。公司與多所知名高校和科研機(jī)構(gòu)建立了長(zhǎng)期的產(chǎn)學(xué)研合作關(guān)系，不斷投入研發(fā)資金，近年來(lái)取得了多項(xiàng)專(zhuān)利技術(shù)與科研成果，在納米材料技術(shù)領(lǐng)域保持著較強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力。

中國(guó)粉體網(wǎng)：請(qǐng)問(wèn)相較于二氧化鈰、氧化鋁等傳統(tǒng)CMP磨料，納米二氧化硅在半導(dǎo)體拋光中的核心優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在哪些方面？

鐘經(jīng)理：我認(rèn)為納米氧化硅在半導(dǎo)體拋光中的優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在以下幾方面。

一是拋光精度更高，納米二氧化硅的粒徑可以精準(zhǔn)控制在極小的范圍內(nèi)，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體表面更為精細(xì)的拋光處理，有效降低表面粗糙度，滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造中日益嚴(yán)格的高精度要求；二是化學(xué)穩(wěn)定性好，相較于部分傳統(tǒng)CMP磨料，納米二氧化硅在拋光過(guò)程中的化學(xué)性質(zhì)更加穩(wěn)定，不易與半導(dǎo)體材料發(fā)生不必要的化學(xué)反應(yīng)，從而保證了半導(dǎo)體器件的性能和質(zhì)量。

第三方面，納米二氧化硅分散性?xún)?yōu)異，納米二氧化硅在拋光液中具有較好的分散性，能夠均勻地分布在拋光體系中，不易團(tuán)聚。這有助于提高拋光的均勻性，減少表面劃痕和缺陷，獲得更光滑的拋光表面；第四是它具有低磨損性，納米二氧化硅硬度相對(duì)較低，在拋光過(guò)程中對(duì)被拋光材料的磨損較小，特別適用于一些軟質(zhì)材料或?qū)Ρ砻鎿p傷敏感的材料的拋光，能夠在實(shí)現(xiàn)拋光效果的同時(shí)，最大限度地減少對(duì)材料表面結(jié)構(gòu)和性能的影響。

五是環(huán)保性好，納米二氧化硅通常具有較好的生物相容性和環(huán)境友好性，在生產(chǎn)和使用過(guò)程中對(duì)環(huán)境的污染較小，符合現(xiàn)代工業(yè)對(duì)環(huán)保的要求；最后就是成本優(yōu)勢(shì)，隨著納米二氧化硅生產(chǎn)技術(shù)的不斷成熟，其生產(chǎn)成本逐漸降低。在保證拋光效果的前提下，使用納米二氧化硅可以有效降低半導(dǎo)體拋光的成本，提升企業(yè)的經(jīng)濟(jì)效益。

中國(guó)粉體網(wǎng)：鐘經(jīng)理，請(qǐng)問(wèn)公司在納米二氧化硅的制備工藝中（如異形膠體、高純度膠體等）有哪些自主核心技術(shù)？

鐘經(jīng)理：我們公司可以提供特殊的反應(yīng)條件控制（如溫度、壓強(qiáng)、反應(yīng)時(shí)間等精準(zhǔn)控制技術(shù)）、獨(dú)特的原料處理方法（例如對(duì)初始原料進(jìn)行特殊的預(yù)處理以提高最終產(chǎn)品純度等）、創(chuàng)新的合成方法（像新的合成工藝路徑，在粒徑增長(zhǎng)過(guò)程中加以干擾制備異型膠體）、先進(jìn)的分離與提純技術(shù)（用于得到高純度膠體等產(chǎn)品）等方面。我們一直致力于相關(guān)技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新，以保障產(chǎn)品在市場(chǎng)上的競(jìng)爭(zhēng)力。

中國(guó)粉體網(wǎng)：您覺(jué)得當(dāng)前國(guó)產(chǎn)納米二氧化硅磨料在高端半導(dǎo)體領(lǐng)域面臨哪些技術(shù)瓶頸？惠爾特通過(guò)哪些研發(fā)策略實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代？

鐘經(jīng)理：雖然國(guó)產(chǎn)納米二氧化硅磨料在顆粒尺寸和形貌控制方面取得了一定進(jìn)展，但與國(guó)際先進(jìn)水平相比，仍存在差距，需要進(jìn)一步提高顆粒尺寸分布的窄度和集中度，以實(shí)現(xiàn)更精確的拋光效果。其次，高純度的納米二氧化硅是半導(dǎo)體制造中的重要材料，國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品在純度方面仍需提升，特別是金屬雜質(zhì)的含量需要進(jìn)一步降低。目前，國(guó)產(chǎn)納米二氧化硅的金屬雜質(zhì)含量≤400 ppb，而國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)通常更高。

再者，國(guó)產(chǎn)納米二氧化硅磨料的工藝穩(wěn)定性和批量生產(chǎn)的一致性仍需提高，需要建立更加穩(wěn)定的合成工藝，以確保每一批次的產(chǎn)品性能一致，滿(mǎn)足高端半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求。國(guó)產(chǎn)納米二氧化硅磨料在國(guó)際市場(chǎng)上仍面臨技術(shù)封鎖和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，特別是在高端半導(dǎo)體領(lǐng)域，國(guó)外企業(yè)憑借技術(shù)優(yōu)勢(shì)占據(jù)了主要市場(chǎng)份額，國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品需要突破這些技術(shù)壁壘，才能在高端市場(chǎng)站穩(wěn)腳跟。

那么，對(duì)于產(chǎn)品進(jìn)口替代方面，公司后期可能加大資金投入，建立先進(jìn)的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，購(gòu)置高端研發(fā)設(shè)備，吸引優(yōu)秀科研人才，組建專(zhuān)業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)。針對(duì)前面提到的國(guó)產(chǎn)技術(shù)瓶頸，如聚焦于提高磨料純度的提純技術(shù)研發(fā)，優(yōu)化粒徑控制技術(shù)以精準(zhǔn)控制粒徑分布，研究更好的分散工藝解決分散性問(wèn)題等。與高校、科研機(jī)構(gòu)合作，產(chǎn)學(xué)研結(jié)合，借助外部科研力量加速技術(shù)突破；也可能與半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)合作，深入了解實(shí)際生產(chǎn)需求，針對(duì)性研發(fā)。

中國(guó)粉體網(wǎng)：鐘經(jīng)理，近幾年，公司在新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)方面有什么進(jìn)展？

鐘經(jīng)理：公司致力于硅溶膠及其延伸產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，包括不同穩(wěn)定劑（鈉、鉀、氨型硅溶膠），不同粒徑規(guī)格的產(chǎn)品。近年來(lái)，公司不斷增加研發(fā)投入，引進(jìn)高端技術(shù)人才，先進(jìn)科研檢測(cè)設(shè)備以及同多所高校、科研單位進(jìn)行合作，在新產(chǎn)品、新技術(shù)上有著較大的進(jìn)展。

在高純硅溶膠方面，通過(guò)原材料的管控，預(yù)處理以及分離提純技術(shù)，顯著降低雜質(zhì)含量，尤其金屬離子的含量，雖然和進(jìn)口產(chǎn)品還有一定的差距，但相信我們通過(guò)不斷的努力一定會(huì)縮小這個(gè)差距。另外，不斷改進(jìn)生產(chǎn)工藝，精確控制硅溶膠粒徑分布，制備單分散體系的硅溶膠，通過(guò)自動(dòng)化半自動(dòng)化的工藝控制，保證產(chǎn)品批次間的一致性。

其中，公司開(kāi)發(fā)的SKP系列硅溶膠在涂料中顯著提升耐磨性和抗污性，用于特種紙涂層，可以增加紙張表面摩擦力，用于鑄造行業(yè)能顯著提高殼模的表面光潔度，減少鑄件表面缺陷，投入市場(chǎng)后得到客戶(hù)的廣泛認(rèn)可。

中國(guó)粉體網(wǎng)：好的，感謝鐘經(jīng)理接受我們的采訪。