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11月15日，由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)分析儀器分會(huì)主辦的第九屆中國(guó)分析儀器學(xué)術(shù)大會(huì)（ACAIC 2024）在廣東省深圳市隆重開(kāi)幕。國(guó)內(nèi)外600余位儀器專(zhuān)家、創(chuàng)新人才齊聚一堂，共同探討“下一代分析儀器”的發(fā)展?！爸炝间舴治鰞x器創(chuàng)新獎(jiǎng)”的頒獎(jiǎng)活動(dòng)與大會(huì)開(kāi)幕式同期舉行，國(guó)儀量子研制的超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X榮獲“創(chuàng)新成果獎(jiǎng)”。

“朱良漪分析儀器創(chuàng)新獎(jiǎng)”由中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)設(shè)置，分析儀器分會(huì)組織開(kāi)展，以紀(jì)念朱良漪同志矢志不渝推動(dòng)我國(guó)分析儀器事業(yè)發(fā)展的精神，同時(shí)激發(fā)企業(yè)及廣大科技工作者積極投身于分析儀器創(chuàng)新工作。

此前，“朱良漪分析儀器創(chuàng)新獎(jiǎng)”已成功頒發(fā)七屆，先后共計(jì)21項(xiàng)分析儀器獲得“創(chuàng)新成果獎(jiǎng)”、29位年輕科學(xué)家獲得“青年創(chuàng)新獎(jiǎng)”，3位儀器用戶(hù)獲得“應(yīng)用創(chuàng)新獎(jiǎng)”。

“創(chuàng)新成果獎(jiǎng)”旨在獎(jiǎng)勵(lì)能提升我國(guó)分析儀器整體實(shí)力和水平的具有創(chuàng)造性和實(shí)用價(jià)值的新成果，如研制出的新型關(guān)鍵零部件、新儀器等。SEM5000X的獲獎(jiǎng)，體現(xiàn)了國(guó)儀量子在高端分析儀器領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新能力。

超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，電子光學(xué)鏡筒設(shè)計(jì)優(yōu)化，綜合像差降低了30%，從而達(dá)到了0.6 nm@15 kv和 1.0 nm@1 kv的超高分辨率。超高分辨率和高穩(wěn)定性，可在先進(jìn)納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、高端芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢(shì)。

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