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一 設(shè)備簡介：

BTF-1200C-SL-L-CVD是一款智能型滑軌式CVD系統(tǒng)。該設(shè)備主要分為五大部分：加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，氣體控制供給系統(tǒng)，自動(dòng)控制移動(dòng)系統(tǒng)，控制軟件系統(tǒng)組成。爐膛為440mm溫區(qū)爐膛，配K型熱電偶，單點(diǎn)控溫；加熱爐置于滑軌上，可手動(dòng)在規(guī)定的范圍內(nèi)任意滑動(dòng)到想要的位置并用限位器固定??；氣路系統(tǒng)采用4路流量計(jì)控制，經(jīng)由不銹鋼混氣罐混合，再進(jìn)入左端進(jìn)氣法蘭；左端法蘭端蓋上預(yù)留1路進(jìn)氣口，內(nèi)部有不銹鋼導(dǎo)氣管，可將氣體導(dǎo)入加熱區(qū)位置。該設(shè)備適用于高校研究所以及研發(fā)型企業(yè)使用。

二 設(shè)備參數(shù)：

額定功率：3KW（加熱爐膛）

額定電壓：AC 220V  50/60HZ 

最高溫度：1200℃

持續(xù)工作溫度：≤1100℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

爐管尺寸：高純石英管 Φ100*1650mm

加熱區(qū)長度：440mm

熱電偶類型：K型熱電偶

控溫精度：±1℃

控溫方式：10寸觸液晶屏觸摸控制，模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

爐體尺寸： 220*750*1450mm（長*寬*高）

加熱元件： 電阻絲

設(shè)備凈重：約300Kg

END

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