前言
靜電吸盤是晶圓生產(chǎn)設(shè)備核心部件，能固定晶圓，確保加工精度，其生產(chǎn)技術(shù)是國內(nèi)芯片制造國產(chǎn)化需攻克的重要技術(shù)之一。目前靜電吸盤已經(jīng)成為應(yīng)用最廣泛的晶圓夾持工具，是等離子刻蝕、濕法刻蝕、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等多個(gè)半導(dǎo)體前道核心設(shè)備中的核心零部件。
產(chǎn)業(yè)透視
靜電吸盤，我們?cè)诎l(fā)力！
中國大陸成為半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模增長最快的地區(qū)，進(jìn)而推動(dòng)靜電吸盤市場(chǎng)的快速增長。
靜電卡盤，“卡”了我們的脖子，它到底是啥？
靜電卡盤，也稱靜電吸盤，現(xiàn)在已經(jīng)廣泛應(yīng)用在等離子和真空環(huán)境下的半導(dǎo)體工藝過程中，比如刻蝕、化學(xué)氣相沉淀、離子植入等。
企業(yè)動(dòng)態(tài)
國投創(chuàng)業(yè)完成對(duì)國內(nèi)高端半導(dǎo)體電子陶瓷與精密零部件領(lǐng)軍企業(yè)無錫海古德新技術(shù)有限公司的領(lǐng)投。
珂瑪科技發(fā)布2024年年度報(bào)告。
君原電子與東湖高新區(qū)簽約，將在光谷建設(shè)半導(dǎo)體靜電吸盤項(xiàng)目。
卓瓷科技公司項(xiàng)目落戶武漢，生產(chǎn)核心零部件靜電卡盤、陶瓷加熱器等產(chǎn)品等。
TOTO通過利用其在陶瓷材料領(lǐng)域的專業(yè)知識(shí)，已經(jīng)在半導(dǎo)體制造所需的“靜電卡盤”（ESC）市場(chǎng)取得了成功。
江豐電子擬向KSTE引進(jìn)靜電吸盤生產(chǎn)技術(shù)及采購靜電吸盤生產(chǎn)線。
寧夏北瓷收到中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部下發(fā)的國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃課題任務(wù)書。
中瓷電子布局精密陶瓷零部件領(lǐng)域，助力半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)化。
中科金瓷（寧波）新材料技術(shù)有限公司參賽項(xiàng)目“半導(dǎo)體制程核心陶瓷零部件國產(chǎn)化”榮獲一等獎(jiǎng)。
重磅會(huì)議
解決方案
靜電吸盤
靜電吸盤，是一種適用于大氣或真空環(huán)境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運(yùn)設(shè)備的總稱。業(yè)內(nèi)簡(jiǎn)稱為ESC或E-CHUCK，靜電吸盤所使用的靜電吸附技術(shù)是一種替代傳統(tǒng)機(jī)械夾持、真空吸附方式的優(yōu)勢(shì)技術(shù)，在半導(dǎo)體、面板顯示、光學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛應(yīng)用。
氮化鋁靜電卡盤燒結(jié)爐
設(shè)備用途:靜電卡盤燒結(jié)設(shè)備規(guī)格:有效溫區(qū)尺寸:500x800mm加熱器:鎢板式壓雙筋加熱器(上中下全方位)上下為鎢網(wǎng)發(fā)熱體隔熱屏材料:W+Mo復(fù)合屏承載重量:2300KG(不含料架500kg)**溫度:2000℃C工作溫度:1850℃C溫度均勻性:±5℃℃(1500℃測(cè)溫環(huán)測(cè)試)升溫速率:0~20°
（氮化硅）氮化鋁粉體量產(chǎn)爐
氮化硅，氮化鋁粉體量產(chǎn)爐設(shè)備用途:氮化硅，氮化鋁，每化硼等粉體量產(chǎn)燒結(jié)。設(shè)備特點(diǎn):1.溫度:2300攝氏度2.電力:55KW3.溫度分布精度:R104.發(fā)熱體:石墨5.壓力:微正壓6.氣氛:N2環(huán)境，氧含量小于100ppm
高純氮化鋁
lCASNO.:24304-00-5l物化特性/PhysicalandChemicalProperties:型號(hào)/ModelRB-N-3外觀/Appearance灰白色粉末/Off-whitepowder元素/Element單位/Unit典型值/TypicalvaluePuritySippm≤5Fe
高純納米氧化鋁粉體
項(xiàng)目指標(biāo)Al2O3(%)99.9MgO(%)0.01Na2O(%)0.03SiO2(%)0.04Fe2O3(%)0.01H2O(%)0.1Ph值8.6原晶(μm)0.10D50(μm)0.21D97(μm)生坯密度(g/cm3)燒結(jié)密度(g/cm3)3.94比表面積（m2/kg)11.9收縮比線性收
多功能燒結(jié)爐
產(chǎn)品應(yīng)用多功能爐可在同一爐體內(nèi)實(shí)現(xiàn)真空、脫脂、預(yù)燒結(jié)、氣壓燒結(jié)、熱壓燒結(jié)及快冷，生產(chǎn)工序一次性完成，極大提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量?？蓪?shí)施在氬氣、氮?dú)夂瓦€原性氣分保護(hù)下低壓力燒結(jié)，減少元素?fù)]發(fā)損失。定向壓差氣流脫脂，強(qiáng)化脫脂效果，爐內(nèi)無藏脂死角，脫脂更加完全。主要應(yīng)用領(lǐng)域有：1、硬質(zhì)合金、CIM、MIM
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