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| Navigator® 數(shù)位式阻抗匹配器 |
| 多功能 Navigator® 匹配網(wǎng)路的先進(jìn)技術(shù)能在多種負(fù)載阻抗下（從15W 至 30kW，頻率至60MHz）進(jìn)行快速、準(zhǔn)確而可靠的匹配。該匹配網(wǎng)路配備了微處理器控制步進(jìn)馬達(dá)電路和用戶可選的數(shù)位調(diào)諧演算法，使它能提供比傳統(tǒng)類(lèi)比調(diào)諧法更佳的一致性和精確性。這也使得它可以?xún)?yōu)化半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、FPD 以及 MEMs 製造流程（包括蝕刻、CVD、HDP-CVD、PVD 和腔體清洗應(yīng)用）的輸送過(guò)程功率。一個(gè)可選的內(nèi)部 Z’Scan® 射頻感測(cè)器可提供對(duì)過(guò)程功率和阻抗的即時(shí)測(cè)量和分析，從而使您能夠發(fā)現(xiàn)並大大地降低製程變化性。此外，可選的虛擬前面板 (VFP) 軟體使您能夠通過(guò)一臺(tái)個(gè)人電腦來(lái)監(jiān)視並控制匹配網(wǎng)路。 |
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