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Advanced Energy (AE) 的 Crystal® 電源非常適用於大面積玻璃鍍膜應(yīng)用，如建築、汽車、抗反射和鏡子，良率高，缺陷少。這些電源的可用功率為 180kW，為雙磁控濺射應(yīng)用提供了寬波段、低頻率的正弦製程電源。AE 的 Crystal 電源是**特別為電漿環(huán)境而設(shè)計(jì)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的交流電大功率電源 。
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