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Park NX-Hivac型高真空原子力顯微鏡

NX-Hivac 型真空原子力顯微鏡是主要用為對(duì)氣氛與水敏感材料研究專門設(shè)計(jì)的一款高真空原子力顯微鏡。NX-Hivac同樣是一款全自動(dòng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)，掃描分辨率達(dá)到了0.02nm，集成了Park公司**技術(shù)“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器”，并標(biāo)配快速掃描模式，變速掃描模式，加上可選功能模塊，使得NX-Hivac型原子力顯微鏡被廣泛用于物理，電學(xué)，力學(xué)，半導(dǎo)體等方向的研究。

Park NX-Hivac型真空原子力顯微鏡技術(shù)特色：

1）真空度高，達(dá)10-4Pa，抽真空速度快，5min內(nèi)達(dá)到10-5Torr以下

2）在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過(guò)提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。

3）NX-Hivac 真空自動(dòng)控制

Hivac 管理器通過(guò)一鍵單擊在邏輯和視覺(jué)上控制**真空條件抽氣和排氣過(guò)程來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過(guò)程通過(guò)顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無(wú)需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。?

4）采用非接觸式工作模式：

Park公司是目前全球**一家真正實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測(cè)量精度的前提下，可實(shí)現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測(cè)量，避免了由于針尖磨損帶來(lái)測(cè)量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點(diǎn)。

下圖是測(cè)量CrN樣品的實(shí)例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測(cè)量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無(wú)變化，針尖幾乎無(wú)磨損！??！

5）探測(cè)器噪聲水平為全球業(yè)界*低：0.02nm

Z軸探測(cè)器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進(jìn)之一，它是Park**的新型應(yīng)變傳感器，憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲*低的Z軸探測(cè)器，檢測(cè)原子臺(tái)階及其容易。

6）采用全球**性能平板掃描器：采用**技術(shù)得三軸分離的平板掃描器，在整個(gè)80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

7）操作極其簡(jiǎn)單：

- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是Park公司的**技術(shù)之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動(dòng)調(diào)整反饋，無(wú)需尋找共振峰，無(wú)需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

- 具有中文，英文等多種操作界面

- 憑借著我們先進(jìn)的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，懸臂在裝載時(shí)激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)****）讓您可以輕松地找到激光光點(diǎn)。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺(jué)旋動(dòng)兩個(gè)定位旋鈕，將激光光點(diǎn)隨著X軸和Y軸移動(dòng)。這樣，您可以在激光準(zhǔn)直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時(shí)，您只需要稍作調(diào)整實(shí)現(xiàn)信號(hào)的**化，便可開(kāi)始獲取數(shù)據(jù)。

• Park NX-Hivac型高真空原子力顯微鏡技術(shù)指標(biāo)：

- XY方向閉環(huán)掃描范圍：100μm×100μm

- Z方向閉環(huán)掃描范圍：15μm

- 系統(tǒng)噪聲水平：≤0.02nm

- 全自動(dòng)樣品臺(tái)： 22mm×22mm

- 樣品臺(tái)放置單個(gè)**樣品尺寸100mm*100mm*20mm

- 真空系統(tǒng)：配置兩級(jí)抽真空裝置，真空度：≤10-4Pa

- 抽真空速度：5 mins以內(nèi)達(dá)到5X10-5 Torr以下

- 真空倉(cāng)體內(nèi)部尺寸：250 mm×320 mm×270 mm (WxDxH)

- 正面提供透-真空系統(tǒng)管理軟件：直觀的控制抽真空和排氣過(guò)程，具有高可視性和易用性，每個(gè)過(guò)程都可以通過(guò)示意圖顏色的變化進(jìn)行可視化監(jiān)控