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法國Microlight 3D出品的SmartPrint UV基于創(chuàng)新DMD無掩模直寫光刻工藝， 在保證穩(wěn)定可靠性下極大提到作業(yè)產(chǎn)率， 是傳統(tǒng)直寫光刻效率的100倍以上， 大大減少了半導(dǎo)體器件試作的周期時(shí)間！此系統(tǒng)為桌面型緊湊型設(shè)計(jì)， 在保證高性能同時(shí)節(jié)省空間且性價(jià)比極高， 精選的物鏡工作范圍可達(dá)3cm， 使系統(tǒng)可兼容除硅片外更多非標(biāo)襯底如不平的， 柔性的， 和厚的， 完全符合微納米加工及柔性器件制備的預(yù)期！
使用稱為DMD的顯示元件，通過與平臺(tái)完全同步的ON/OFF控制，在晶片上直接繪制圖案。因?yàn)椴恍枰囍普掌谀Ｋǖ臅r(shí)間和費(fèi)用，所以可以提高半導(dǎo)體及其他電子器件的試制效率.
暫無數(shù)據(jù)！
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