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2PP雙光子三維聚合微納米加工系統(tǒng)
2PP雙光子三維聚合微納米加工系統(tǒng)

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Workshop of Photonics公司從2003年開始就專注于飛秒激光微納加工工藝研發(fā), 憑借著創(chuàng)新技術(shù)及先進(jìn)可靠工藝在全球類似Laser World of Photonics上獲得多項(xiàng)大獎(jiǎng)現(xiàn)階段已是全歐洲有名的飛秒激光解決方案供應(yīng)商.

隨著微納科學(xué)與技術(shù)的發(fā)展, 形狀尺寸微小或操作尺寸極小為特征的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)電子機(jī)械系統(tǒng)(NEMS)成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的一項(xiàng)重要高新技術(shù). 許多前沿科學(xué)的進(jìn)步和高新技術(shù)的突破都來源于微結(jié)構(gòu)加工精度的提高, 例如, 微電子學(xué)技術(shù)的發(fā)展高的運(yùn)算速度和更強(qiáng)大的功能要求大規(guī)模集成電路向更微型化的方向發(fā)展. 精密微加工在航空航天, 精密機(jī)械生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用潛力. 另外, 微結(jié)構(gòu)在基礎(chǔ)科學(xué)研究中也占有舉足輕重的地位成為納米技術(shù)研究的重要手段, 因而受到各個(gè)國(guó)家的高度重視. 過去微加工研究主要集中在微電子學(xué)器件方面, 今天在其他領(lǐng)域的研究和應(yīng)用正迅速發(fā)展, 包括生物研究領(lǐng)域的微型操作, 微型反應(yīng)器, 微機(jī)系統(tǒng)微型光電器件.

由于不同領(lǐng)域?qū)ξ⒓庸すに嚨囊?/span>不同, 以及不同的材料有不同的加工技術(shù), 各種微加工技術(shù)迅速發(fā)展. 微納米尺度范圍內(nèi)已經(jīng)有許多成熟的微加工技術(shù), 其中占據(jù)*主要地位的就是光刻技術(shù)此外還有其他技術(shù)如納米壓印技術(shù), 注射噴墨成型等.主流型號(hào)為FemtoLAB實(shí)驗(yàn)級(jí)飛秒激光微納米加工系統(tǒng), FemtoFAB產(chǎn)業(yè)級(jí)飛秒激光微納米加工系統(tǒng), MPP-Cube秒雙光子/多光子三維聚合微納米加工系統(tǒng).

飛秒脈沖激光出現(xiàn)為人們?cè)诩庸ゎI(lǐng)域開辟了新篇章具有超快時(shí)間和超高峰值特性等許多新奇特性, 能將能量快速, 準(zhǔn)確的幾種在作用區(qū)域實(shí)現(xiàn)對(duì)幾乎所有材料的非熱熔性冷處理, 獲得傳統(tǒng)激光加工無法比擬的高精度, 損傷等優(yōu)勢(shì). 秒激光這些獨(dú)特優(yōu)勢(shì)使得它在材料的微細(xì)加工納結(jié)構(gòu)制作, 光子器件高密度存儲(chǔ), 醫(yī)療和生物工程方面得到廣泛的應(yīng)用.

多光子聚合三維微納加工是一種非常有效的微制造技術(shù), 技術(shù)是一種非線性的雙光子吸收過程超短激光脈沖分子存在下可以同時(shí)吸收兩個(gè)或兩個(gè)以上的光子, 從而使得聚合材料在激光的焦點(diǎn). 技術(shù)可以產(chǎn)生納米級(jí)別的制造分辨率!為了發(fā)揮雙光子聚合固有的高分辨率, 需要高精度定位系統(tǒng)壓電器件控制的操作臺(tái)和掃描振.

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