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三維輪廓儀NanoMap-D

NanoMap-D三維表面輪廓儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。 該款儀器可以看做是表面研究的萬用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設計特點，彌補兩種模式的局限，發(fā)揮表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式有速度快，直接三維成象，不破壞樣品等特點。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單，測量材料廣泛。兩種模式相結合可以對更多形狀、性狀、材質(zhì)的試樣進行表面形貌的研究。

該輪廓儀測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設備傳感器精度高，穩(wěn)定性好，材料應用面廣。熱噪聲是同類產(chǎn)品*低的。垂直分辨率可達0.01 nm ( phase-shift mode) 可測跨學科、跨領域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒等)；

1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等

2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖， 輪廓線等

3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量

5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量

6、微電子表面分析和MEMS表征

主要特點：

高精度

**的縱向分辨率：0.1 nm (接觸式)；0.01nm（光學非接觸式）

對周圍環(huán)境和光源的強適應性強

寬闊的垂直測量范圍

多種選擇光學頭及接觸式

縱向掃描范圍 20um to 10mm

圖像；縫合技術使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)

試用于幾乎所有的表面

透明，不透明，反射光強等多種材料

垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞

脆性的材料，軟材料，柔性材料表面

尖銳的，堅硬的，磨損的表面

適應性強

白光光源，人體安全設計，長壽命白光LED 免維護?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實驗室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。

接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術的**結合

接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10umX10um 到500um X500um。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。

在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察

針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍

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XP-1/XP-2；XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300；α-step IQ(100，200，250，500)；α-step P6；α-step P16+(P1，P2，P10，P11，P11，P15)；α-step P16+0F； KLA-Tencor

光學輪廓儀(白光干涉儀/ 移相干涉儀)；MicroXam 100；MicroXam 1200